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nm级制造用三维微定位的扫描探针显微镜
被引量:
2
1
作者
张鸿海
李文菊
+1 位作者
师汉民
陈日曜
《华中理工大学学报》
CSCD
北大核心
1996年第4期8-10,共3页
介绍一种用于nm级制造具有xyz三维微定位能力的扫描探针显微镜(SPM).采用电磁足周期性地夹紧与松开,结合压电陶管的轴向伸缩变形的微位移爬行器构成三维微定位机构.扫描范围可达20μm×20μm,且探针可在样品表...
介绍一种用于nm级制造具有xyz三维微定位能力的扫描探针显微镜(SPM).采用电磁足周期性地夹紧与松开,结合压电陶管的轴向伸缩变形的微位移爬行器构成三维微定位机构.扫描范围可达20μm×20μm,且探针可在样品表面x和y方向上10mm×10mm范围内实行nm级的定位.探针在z方向接近样品表面也可自动进行.给出了微定位器的运动分辨率、速度与工作频率。
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关键词
纳米级制造
三维微定位
扫描探针显微镜
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职称材料
题名
nm级制造用三维微定位的扫描探针显微镜
被引量:
2
1
作者
张鸿海
李文菊
师汉民
陈日曜
机构
机械科学与工程学院
出处
《华中理工大学学报》
CSCD
北大核心
1996年第4期8-10,共3页
基金
国家自然科学基金
文摘
介绍一种用于nm级制造具有xyz三维微定位能力的扫描探针显微镜(SPM).采用电磁足周期性地夹紧与松开,结合压电陶管的轴向伸缩变形的微位移爬行器构成三维微定位机构.扫描范围可达20μm×20μm,且探针可在样品表面x和y方向上10mm×10mm范围内实行nm级的定位.探针在z方向接近样品表面也可自动进行.给出了微定位器的运动分辨率、速度与工作频率。
关键词
纳米级制造
三维微定位
扫描探针显微镜
Keywords
nanofabrication
wide working range
3 D micropositioning
scanning probe microscopy
分类号
TN16 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
nm级制造用三维微定位的扫描探针显微镜
张鸿海
李文菊
师汉民
陈日曜
《华中理工大学学报》
CSCD
北大核心
1996
2
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