Ag催化化学腐蚀多晶绒面的制备及其特性研究

该文采用液相两步法成功制备出具有高质量性能的黑硅绒面。当Ag粒子沉积时间为10 s、AgNO3浓度为0.01 mol/L,H2O2浓度为0.9%,黑硅刻蚀时间为120 s时,硅片绒面反射率最小为5.47%;Ag粒子去除阶段,采用碱洗方式去除残余银颗粒的效果要优于酸洗;黑硅纳米绒面重塑阶段,时间控制在90 s时纳米锥大小一致、均匀度最优。