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纳米蚀刻技术及其在20GHz频段SAW器件中的应用
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作者 阎永志 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1996年第4期287-287,共1页
纳米蚀刻技术及其在20GHz频段SAW器件中的应用阎永志利用纳米蚀刻技术可将图形做得非常精细(um级),将在ULSI、高速FET、分布反馈式激光器和GHz频段SAW器件等领域获得应用。常规蚀刻过程中,抗蚀膜层必须有一... 纳米蚀刻技术及其在20GHz频段SAW器件中的应用阎永志利用纳米蚀刻技术可将图形做得非常精细(um级),将在ULSI、高速FET、分布反馈式激光器和GHz频段SAW器件等领域获得应用。常规蚀刻过程中,抗蚀膜层必须有一定厚度,但较厚的抗蚀膜无法获得纳米... 展开更多
关键词 纳米蚀刻技术 SAW器件 声表面波 应用
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金纳米颗粒的有序制备及其光学特性 被引量:7
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作者 王凯 杨光 +3 位作者 龙华 李玉华 戴能利 陆培祥 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期3862-3867,共6页
采用纳米球蚀刻技术在石英衬底上制备了不同高度的金纳米颗粒阵列.通过扫描电子显微镜对其表面形貌进行了观测,表明金纳米颗粒为有序分布的三棱柱结构.通过红外—紫外吸收光谱仪在190—900nm波长范围内对其光吸收特性进行了测量,并成功... 采用纳米球蚀刻技术在石英衬底上制备了不同高度的金纳米颗粒阵列.通过扫描电子显微镜对其表面形貌进行了观测,表明金纳米颗粒为有序分布的三棱柱结构.通过红外—紫外吸收光谱仪在190—900nm波长范围内对其光吸收特性进行了测量,并成功观测到了金纳米颗粒表面等离子体振荡效应引起的光吸收峰,结果表明随着金纳米颗粒高度的增加,其吸收峰的位置向短波方向移动(蓝移).同时对金纳米颗粒的光吸收特性进行了基于离散偶极子近似的理论计算,并与实验结果进行了比较. 展开更多
关键词 纳米蚀刻技术 纳米颗粒 离散偶极子近似
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Au纳米颗粒阵列中双光子吸收的饱和过程
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作者 王凯 龙华 +3 位作者 付明 张莉超 杨光 陆培祥 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第3期281-284,共4页
采用纳米球蚀刻法制备了Au纳米颗粒阵列.并通过扫描电子显微镜观测了其表面形貌,表明三角形的Au纳米颗粒呈阵列状分布.采用Z扫描方法(800nm,50fs)测量了Au纳米颗粒阵列的三阶非线性光学特性.在较小的激发功率下,结果呈现出双光子吸收效... 采用纳米球蚀刻法制备了Au纳米颗粒阵列.并通过扫描电子显微镜观测了其表面形貌,表明三角形的Au纳米颗粒呈阵列状分布.采用Z扫描方法(800nm,50fs)测量了Au纳米颗粒阵列的三阶非线性光学特性.在较小的激发功率下,结果呈现出双光子吸收效应,随着激发功率不断增加,出现了双光子吸收饱和的过程;非线性折射则呈现出自散焦效应.这种高效率的非线性响应机理使得该种Au纳米颗粒阵列在高速全光开关中有潜在的应用价值. 展开更多
关键词 纳米蚀刻技术 Au纳米颗粒 三阶光学非线性
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