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题名相移干涉显微术测量表面微观形貌
被引量:3
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作者
惠梅
牛憨笨
李庆祥
徐毓娴
王东生
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机构
清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室
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出处
《光学技术》
EI
CAS
CSCD
2003年第1期2-4,7,共4页
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基金
国家自然科学基金资助(项目号:59975052)
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文摘
在微分干涉相衬显微镜中加入偏振相移装置,实现了对干涉光强的调制,达到了相移的目的,构造了具有纳米级分辨率的相移干涉显微测量系统。编制了一套测试软件及多组数据处理软件,将测量系统的各组成部分用软件进行了连接。分析并解决了测量过程中的技术难题,对纳米表面微观形貌进行了高精度实时自动测量。该测量系统能够准确地重构出纳米表面微观形貌,并给出了定量测量数据。
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关键词
微分干涉相衬
相移干涉显微术
纳米表面微观形貌
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Keywords
Computer software
Interferometers
Measurements
Morphology
Phase shift
Surfaces
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分类号
TG84
[金属学及工艺—公差测量技术]
TH741.8
[机械工程—光学工程]
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题名微通道板铅硅酸盐玻璃表面纳米尺度的形貌(英文)
被引量:8
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作者
黄永刚
顾真安
张洋
刘辉
李国恩
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机构
中国建筑材料科学研究总院
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出处
《硅酸盐学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第7期994-999,共6页
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基金
国防科工局资助项目
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文摘
氢还原后微通道板铅硅酸盐玻璃表面的形貌与微通道板的使用性能直接相关。利用原子力显微镜研究了不同还原条件下的微通道板铅硅酸盐玻璃表面的纳米尺度形貌变化过程,并构建了还原过程中的表面微结构模型。结果表明:微通道板铅硅酸盐玻璃表面存在2种微结构形貌:一种是还原生成的新相颗粒弥散分布于玻璃基体中,还原条件影响弥散分布的颗粒尺寸与距离,还原初期容易出现小颗粒的弥散结构,而通过长时间还原或高温还原后则会出现大颗粒的弥散结构;另一种是新相颗粒相互连接形成连通结构。2种微结构形貌的形成取决于还原条件。经X射线衍射和X射线光电子能谱分析表明:铅硅酸盐玻璃表面的新相颗粒为玻璃中铅离子被还原生成的铅原子聚集体。
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关键词
微通道板铅硅酸盐玻璃
原子力显微镜
纳米尺度表面微观形貌
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Keywords
micro-channel plate lead silicate glass
atomic force microscopy
nano-scale morphology of surface
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分类号
TB321
[一般工业技术—材料科学与工程]
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