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题名纳米超硬多层膜研究现状及发展趋势
被引量:3
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作者
唐普洪
宋仁国
柴国钟
陈小明
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机构
浙江工业大学机械制造及自动化教育部重点实验室
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出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第2期18-21,共4页
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基金
浙江省自然科学基金青年科技人才培养项目(R405031)资助课题
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文摘
分别从溅射法和蒸发法两个方面评述了近年来纳米多层膜制备工艺的最新进展,在此基础上介绍了脉冲激光沉积(PLD)工艺制备纳米超硬多层膜的新方法。对典型的超硬膜TiN、(Ti,Zr)N、(Ti,Al)N、TiN/SiO2、B1-SiC、TiN/SiN4进行了简单回顾,并对其硬度、残余应力、摩擦磨损和抗氧化性能等方面做了详细的比较。最后,简述了纳米超硬多层膜表征的一般手段,并展望了发展前景。
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关键词
纳米超硬多层膜
脉冲激光沉积
制备
表征
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Keywords
superhard nano-multilayer films, pulsed laser deposition, preparation, properties characterisation
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分类号
TB383
[一般工业技术—材料科学与工程]
O484.1
[理学—固体物理]
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题名超硬纳米多层膜的材料选择与结构设计
被引量:1
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作者
赵彦辉
肖金泉
林国强
郎文昌
于宝海
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机构
中国科学院金属研究所
大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室
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出处
《机械工程材料》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第10期68-71,95,共5页
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基金
国家自然科学基金资助项目(50801062)
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文摘
综述了近年来超硬纳米多层膜材料选择与结构设计的研究进展,主要介绍了多层膜的选材,从构成多层膜的材料种类、膜与基体的选择、多层膜材料的选择以及从超硬效应理论得到的启示等几个方面总结了多层膜实现超硬特性时要考虑的因素,并指出了目前存在的问题及今后的发展方向。
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关键词
超硬纳米多层膜
材料选择
结构设计
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Keywords
superhard nano-multilayer film
material selection
structure design
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分类号
O484.2
[理学—固体物理]
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