RF-PECVD法在不同的基底上生长纳米金刚石及碳纳米管/纳米金刚石复合物

采用PECVD技术,在氯化钠基片上合成了纳米金刚石,并研究了其生长机制.采用同样的技术,以硅片为基底,选用不同的沉积参量,分别合成了纳米金刚石、碳纳米管及碳纳米管/纳米金刚石复合物,研究了其场发射性能.实验结果表明:碳纳米管/纳米金刚石复合物的场发射性能优于碳纳米管和纳米金刚石的场发射性能.

金刚石、碳纳米管、碳纳米管/纳米金刚石复合物的制备及生长机制研究

采用PECVD技术,通过对基片使用不同的预处理方法和沉积参数,合成了金刚石、碳纳米管及碳纳米管/纳米金刚石复合物.利用SEM,TEM,拉曼光谱对样品的形貌、成分和结构进行了研究.结果表明,在制备样品的过程中,基片的预处理方法和CH4/H2流量比至关重要,它们将影响所制得样品的晶粒大小、形核密度以及微观结构.