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纳米非晶硅薄膜的界面发光特性 被引量:1
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作者 傅广生 张江勇 +2 位作者 丁文革 吕雪芹 于威 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第z1期91-94,共4页
采用螺旋波等离子体增强化学气相沉积(HWP-CVD)技术沉积了不同氢稀释比的富硅氢化非晶氮化硅(a-SiNx:H)薄膜,并利用光致发光(PL)和光致发光激发(PLE)谱技术对其发光特性进行了研究.结果显示,所有样品发光均表现为两个带的叠加:一个发光... 采用螺旋波等离子体增强化学气相沉积(HWP-CVD)技术沉积了不同氢稀释比的富硅氢化非晶氮化硅(a-SiNx:H)薄膜,并利用光致发光(PL)和光致发光激发(PLE)谱技术对其发光特性进行了研究.结果显示,所有样品发光均表现为两个带的叠加:一个发光带随氢稀释比增大而发生蓝移,另一个发光带则固定在2.9eV左右.前者关联于镶嵌在a-SiNx:H基质内非晶纳米硅颗粒的界面发光,后者来源于a-SiNx:H基质相关的局域态中电子和空穴对的辐射复合.并结合所沉积薄膜的吸收特性,分析了缺陷态和界面态对薄膜中非晶纳米硅界面发光特性的影响. 展开更多
关键词 纳米非晶硅 PL PLE 吸收谱 界面发光
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纳米非晶硅(na-Si∶H)p-i-n太阳电池 被引量:1
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作者 胡志华 廖显伯 +3 位作者 刁宏伟 曾湘波 徐艳月 孔光临 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期187-191,共5页
该文报道了通过适当氢稀释(RH=15)和合适的衬底温度(Ts=170°C)下,用PECVD制备得到的宽带隙氢化纳米非晶硅(na-S i∶H)薄膜,并将其用作p in太阳电池的本征层。经过电池结构和工艺条件的优化设计,在p/i,i/n界面插入渐变带隙缓冲层,... 该文报道了通过适当氢稀释(RH=15)和合适的衬底温度(Ts=170°C)下,用PECVD制备得到的宽带隙氢化纳米非晶硅(na-S i∶H)薄膜,并将其用作p in太阳电池的本征层。经过电池结构和工艺条件的优化设计,在p/i,i/n界面插入渐变带隙缓冲层,制备出了glass/ITO/p-a-S iC∶H/i-na-S i∶H/n-nc-S i∶H/A l结构的p in太阳电池。电池初始开路电压(Voc)高达0.94V,同时还能保证0.72的填充因子(FF)。光电转换效率(Eff)达到8.35%(AM1.5,100mW/cm2)。 展开更多
关键词 纳米非晶硅 pin薄膜太阳电池 开路电压 PECVD
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掺硼纳米非晶硅的太阳能电池窗口层应用研究 被引量:2
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作者 李喆 张溪文 韩高荣 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第2期119-124,共6页
本文通过等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法沉积p型纳米非晶硅薄膜(na-Si∶H),系统地研究了掺杂气体比(B2H6/SiH4)、沉积温度、射频电源功率对薄膜结构、光学、电学性能的影响。研究表明,轻掺硼有利于非晶硅薄膜晶化,但随着掺硼量的增... 本文通过等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法沉积p型纳米非晶硅薄膜(na-Si∶H),系统地研究了掺杂气体比(B2H6/SiH4)、沉积温度、射频电源功率对薄膜结构、光学、电学性能的影响。研究表明,轻掺硼有利于非晶硅薄膜晶化,但随着掺硼量的增加,硼的"毒化"作用又使薄膜变为非晶态;与p型a-Si∶H相比,掺硼纳米硅薄膜的光学带隙Eopt较高,电导率较高,电导激活能较低,是一种很有潜力的太阳能电池窗口层材料。 展开更多
关键词 等离子体增强化学气相沉积 纳米非晶硅 硼掺杂 掺杂比 光学带隙
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镶嵌在氢化氮化硅中纳米非晶硅粒子光吸收的模拟 被引量:1
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作者 于威 张丽 +3 位作者 甄兰芳 杨彦斌 韩理 傅广生 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期913-918,共6页
采用量子限制效应模型对镶嵌有纳米非晶硅粒子的氢化氮化硅薄膜的光吸收进行了理论模拟,探讨了由吸收谱分析给出该结构薄膜光学参数的方法,并通过对不同氮含量样品的讨论给出了量子限制效应和纳米硅粒子表面的结构无序对薄膜光吸收特性... 采用量子限制效应模型对镶嵌有纳米非晶硅粒子的氢化氮化硅薄膜的光吸收进行了理论模拟,探讨了由吸收谱分析给出该结构薄膜光学参数的方法,并通过对不同氮含量样品的讨论给出了量子限制效应和纳米硅粒子表面的结构无序对薄膜光吸收特性的影响规律。分析结果表明,随氮含量的增加,薄膜有效光学带隙增大,该结果与薄膜中纳米硅粒子平均尺寸的减小引起的量子限制效应的增强相关,而小粒度纳米硅粒子比例增加所引入的较高微观结构无序度和较多缺陷将会导致薄膜低能吸收区吸收系数增加。 展开更多
关键词 纳米非晶硅 量子限制效应 结构无序度
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氢化纳米非晶硅(na-Si:H)p-i-n太阳电池
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作者 胡志华 廖显伯 +2 位作者 夏朝凤 刁宏伟 孔光临 《云南师范大学学报(自然科学版)》 2004年第4期27-30,共4页
 文章报道了通过适当氢稀释(RH=15)和合适的衬底温度(Ts=170℃)下,用PECVD制备得到的宽带隙氢化纳米非晶硅(na-Si:H)薄膜,并将其用作pin太阳电池的本征层。经过电池结构和工艺条件的优化设计,在p/i,i/n界面插入渐变带隙缓冲层,制备出了...  文章报道了通过适当氢稀释(RH=15)和合适的衬底温度(Ts=170℃)下,用PECVD制备得到的宽带隙氢化纳米非晶硅(na-Si:H)薄膜,并将其用作pin太阳电池的本征层。经过电池结构和工艺条件的优化设计,在p/i,i/n界面插入渐变带隙缓冲层,制备出了glass/ITO/p-a-SiC:H/i-na-Si:H/n-nc-Si:H/Al结构的pin太阳电池。电池初始开路电压(Voc)高达0.94V,同时还能保证0.72的填充因子(FF)。光电转换效率(Eff)达到8.35%(AM1.5,100mW/cm2)。 展开更多
关键词 纳米非晶硅 pin薄膜太阳电池 开路电压 PECVD
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退火处理对氢化纳米晶/非晶硅两相薄膜的结构和光学性能的影响 被引量:1
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作者 陈红敏 丁建宁 +2 位作者 王秀琴 郭立强 袁宁一 《常州大学学报(自然科学版)》 CAS 2010年第3期1-6,共6页
利用等离子化学气相沉积(PECVD)方法低温制备不同晶态比的氢化纳米晶/非晶硅两相薄膜,在高纯氮气下对其进行不同温度(300-500℃)的退火处理,并利用X射线衍射(XRD)?拉曼光谱(Raman)、原子力显微镜(AFM)、傅里叶红外光谱(FT-IR)和紫外-可... 利用等离子化学气相沉积(PECVD)方法低温制备不同晶态比的氢化纳米晶/非晶硅两相薄膜,在高纯氮气下对其进行不同温度(300-500℃)的退火处理,并利用X射线衍射(XRD)?拉曼光谱(Raman)、原子力显微镜(AFM)、傅里叶红外光谱(FT-IR)和紫外-可见光透射谱(UV-VIS)对其结构和光学性能进行研究。结果显示400-500℃退火在一定程度上提高了低晶态比的氢化纳米硅/非晶硅两相薄膜的结晶度,而高晶态比的氢化纳米硅/非晶硅两相薄膜在500℃下退火20 min,其结构和光学特性显示出比较好的热稳定性。 展开更多
关键词 氢化纳米晶/非晶硅两相薄膜 退火处理 稳定性
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菊花石中纳米矿物的微观组织研究 被引量:1
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作者 伍翠兰 陈江华 +2 位作者 陈振华 胡廷伟 牛永强 《岩矿测试》 CAS CSCD 2008年第3期161-164,共4页
采用扫描电镜、透射电镜和能谱分析研究了浏阳产菊花石的微观组织,发现浏阳菊花石的花瓣保留了原生矿物——天青石SrSO_4及其单晶体的外形,但是花瓣内部出现了硅化现象;菊花石中存在多种纳米矿物材料,例如非晶纳米硅氧线、颗粒状纳米CaC... 采用扫描电镜、透射电镜和能谱分析研究了浏阳产菊花石的微观组织,发现浏阳菊花石的花瓣保留了原生矿物——天青石SrSO_4及其单晶体的外形,但是花瓣内部出现了硅化现象;菊花石中存在多种纳米矿物材料,例如非晶纳米硅氧线、颗粒状纳米CaCO_3和SrSO_4、CaCO_3的二维纳米片和纳米带等。某些非晶纳米硅氧线外包覆了纳米晶化层,镁含量越高,非晶纳米线越容易晶化。 展开更多
关键词 菊花石 纳米矿物 非晶硅纳米线
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硅氧合金薄膜及其在高效纳米硅薄膜叠层太阳电池中的应用研究 被引量:1
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作者 俞凤至 胡安红 +6 位作者 郁操 曲铭浩 汪涛 张铭 严辉 张津岩 徐希翔 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第8期1918-1924,共7页
系统研究两种不同形态的硅氧合金薄膜,用甚高频PECVD系统制备的非晶硅氧和纳米硅氧薄膜的特性,以及其在纳米硅薄膜叠层薄膜太阳电池中的应用。实验中主要通过对不同的气体流量比的优化、沉积功率和沉积压力的优化,分别制备出光学带隙约... 系统研究两种不同形态的硅氧合金薄膜,用甚高频PECVD系统制备的非晶硅氧和纳米硅氧薄膜的特性,以及其在纳米硅薄膜叠层薄膜太阳电池中的应用。实验中主要通过对不同的气体流量比的优化、沉积功率和沉积压力的优化,分别制备出光学带隙约为2.1 e V,折射率约为3的a-SiO_x∶B∶H薄膜,作为非晶硅顶电池的p1层,以及带隙为2.2~2.5 e V,折射率为2.0~2.5,晶化率为20%~50%的nc-SiO_x∶P∶H薄膜,作为非晶硅/纳米硅叠层电池的中间反射层和纳米硅的底电池n2层。最后将优化后的a-SiO_x∶B∶H和nc-SiO_x∶P∶H薄膜应用到非晶硅/纳米硅薄膜叠层电池中,在0.79 m^2的玻璃基板上制备出初始峰值功率为101.1 W、全面积初始转换效率为12.8%、稳定峰值功率为87.3 W、全面积稳定转换效率为11.1%的非晶硅/纳米硅叠层电池。 展开更多
关键词 太阳电池 非晶硅/纳米硅叠层电池 硅氧合金薄膜 p层非晶硅氧薄膜 n层纳米硅氧薄膜
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基于SOI材料α-Si:H TFTs的制作和特性研究(英文) 被引量:2
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作者 李蕾 温殿忠 +1 位作者 李刚 赵晓锋 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第2期181-185,共5页
采用RF-PECVD系统在SOI材料上制作α-Si:H TFT,纳米非晶硅薄膜厚度为98nm,沟道长宽比为10μm/40μm。用扫描电子显微镜、X射线衍射和拉曼光谱等检测方法对不同退火温度下的氢化非晶硅薄膜形貌进行了表征。采用CMOS工艺、各向异性腐蚀溶... 采用RF-PECVD系统在SOI材料上制作α-Si:H TFT,纳米非晶硅薄膜厚度为98nm,沟道长宽比为10μm/40μm。用扫描电子显微镜、X射线衍射和拉曼光谱等检测方法对不同退火温度下的氢化非晶硅薄膜形貌进行了表征。采用CMOS工艺、各向异性腐蚀溶液EPW、射频溅射技术和等离子体刻蚀等工艺实现α-Si:H TFT的制作。在给出一般α-Si:H TFT特性分析和实验结果的基础上,又采用建模方式对α-Si:H TFT出现的负阻特性进行研究。提取纳米氢化非晶硅薄膜与栅氧化层界面处能带图的结果表明,在靠近漏端0.5μm范围内,漏压由6V增加到30V时,随漏压的增加,价带能量逐渐下降。研究结果表明,距离漏端0.5μm范围内的压降导致负阻特性产生。 展开更多
关键词 α-Si:H TFT 纳米非晶硅薄膜 SOI材料 腐蚀自停止技术 负阻特性
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Hybrid Silicon-Carbon Nanostructured Composites as Superior Anodes for Lithium Ion Batteries 被引量:9
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作者 Po-Chiang Chen Jing Xu +1 位作者 Haitian Chen Chongwu Zhou 《Nano Research》 SCIE EI CAS CSCD 2011年第3期290-296,共7页
We have successfully fabricated a hybrid silicon-carbon nanostructured composite with large area (about 25.5 in^2) in a simple fashion using a conventional sputtering system. When used as the anode in lithium ion ba... We have successfully fabricated a hybrid silicon-carbon nanostructured composite with large area (about 25.5 in^2) in a simple fashion using a conventional sputtering system. When used as the anode in lithium ion batteries, the uniformly deposited amorphous silicon (a-Si) works as the active material to store electrical energy, and the pre-coated carbon nanofibers (CNFs) serve as both the electron conducting pathway and a strain/stress relaxation layer for the sputtered a-Si layers during the intercalation process of lithium ions. As a result, the as-fabricated lithium ion batteries, with deposited a-Si thicknesses of 200 nm or 300 nm, not only exhibit a high specific capacity of 〉2000 mA.h/g, but also show a good capacity retention of over 80% and Coulombic efficiency of 〉98% after a large number of charge/discharge experiments. Our approach offers an efficient and scalable method to obtain silicon-carbon nanostructured composites for application in lithium ion batteries. 展开更多
关键词 Amorphous silicon carbon nanofibers lithium ion batteries hybrid nanostructured composite
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Microstructure and mechanical properties of Ti Al Si N nano-composite coatings deposited by ion beam assisted deposition 被引量:11
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作者 SU Kang LIU DaMeng SHAO TianMin 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第10期1682-1688,共7页
TiA1SiN nano-composite coatings with Silicon contents from 4.1 to 23.9 at.% were deposited on Silicon wafers. The nano- hardness, microstructure, and adhesion force of the coatings were deeply affected by Silicon cont... TiA1SiN nano-composite coatings with Silicon contents from 4.1 to 23.9 at.% were deposited on Silicon wafers. The nano- hardness, microstructure, and adhesion force of the coatings were deeply affected by Silicon contents. The TiA1SiN with 9.0 at.% Silicon has a maximum hardness of 40.9 GPa, a highest adhesion force of 67 N and a lowest friction coefficient of 0.5. Microstructures show that Silicon doping increases the hardness of coating due to solid solution hardening effect and grain boundary enhancement effect. The amorphous Si3N4 matrix, which contains (Ti,Al)N nano-crystals, is formed as the Silicon content is increased. The matrix contributes to the nano-hardness and helps to resist surface oxidization. Especially, the matrix induces low surface roughness and decreases the friction coefficient. 展开更多
关键词 IBAD TiAISiN Nano-hardness MICROSTRUCTURE mechanical properties
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Modulating the thermal conductivity of silicon nanowires via surface amorphization 被引量:2
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作者 LIU XiangJun ZHANG Gang +1 位作者 PEI QingXiang ZHANG YongWei 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS 2014年第4期699-705,共7页
We perform non-equilibrium molecular dynamics calculations to study the heat transport in crystalline-core amorphous-shell silicon nanowires(SiNWs).It is found that the thermal conductivity of the core-shell SiNWs is ... We perform non-equilibrium molecular dynamics calculations to study the heat transport in crystalline-core amorphous-shell silicon nanowires(SiNWs).It is found that the thermal conductivity of the core-shell SiNWs is closely related to the cross-sectional area ratio of amorphous shell.Through shell amorphization,an 80%reduction in thermal conductivity compared to crystalline SiNWs with the same size can be achieved,due to the non-propagating heat diffusion in the amorphous region.In contrast to the strong temperature-dependent thermal conductivity of crystalline SiNWs,the core-shell SiNWs only show weak temperature dependence.In addition,an empirical relation is proposed to accurately predict the thermal conductivity of the core-shell SiNWs based on the rule of mixture.The present work demonstrates that SiNWs with an amorphized shell are promising candidates for thermoelectric applications. 展开更多
关键词 thermal conductivity THERMOELECTRIC molecular dynamics silicon nanowire
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