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碳纳米管器件的新进展
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作者 羽龙 《世界产品与技术》 2003年第7期60-61,共2页
众所周知,纳米是一种长度计量单位,它是米的10亿分之一,即1nm=10-9m。关于纳米科技的定义众说 纷纭。目前科技界比较普遍公认的说法 是:在纳米尺度(0.1-100nm)上研究 物质(包括原子、分子的加工和操作)的 特性和相互作用以及如何利用这... 众所周知,纳米是一种长度计量单位,它是米的10亿分之一,即1nm=10-9m。关于纳米科技的定义众说 纷纭。目前科技界比较普遍公认的说法 是:在纳米尺度(0.1-100nm)上研究 物质(包括原子、分子的加工和操作)的 特性和相互作用以及如何利用这些特性 和相互作用的具有多学科交叉性质的科 学和技术。也就是说,纳米科技是以原 子、分子为起点,去设计、制造具有特殊 功能的产品。若以研究对象来划分。 展开更多
关键词 纳米 纳米fet 场效应晶体管 晶体管 纳米管二极管
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Pt对In_(2)O_(3)纳米线场效应晶体管电学性能的影响
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作者 吴黎明 徐进霞 +3 位作者 范志成 梅菲 周远明 刘凌云 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第4期4028-4033,共6页
氧化铟纳米线(In_(2)O_(3)NWs)因具有合适的禁带宽度、较高的电子迁移率等优异的电学性能,可应用于晶体管、存储器、传感器等而备受关注,成为研究的热点。本实验通过简单易行的化学气相沉积法生长了In_(2)O_(3)纳米线,结合电子束光刻(E... 氧化铟纳米线(In_(2)O_(3)NWs)因具有合适的禁带宽度、较高的电子迁移率等优异的电学性能,可应用于晶体管、存储器、传感器等而备受关注,成为研究的热点。本实验通过简单易行的化学气相沉积法生长了In_(2)O_(3)纳米线,结合电子束光刻(EBL)成功制备了In_(2)O_(3)纳米线场效应晶体管器件(Field effect transistor,FET),利用溅射系统在In_(2)O_(3) FET上沉积不同厚度的Pt,研究了Pt纳米颗粒对In2O3 FET电学性能的影响。利用扫描电子显微镜、X射线衍射及光致发光光谱研究了In_(2)O_(3)纳米线的形貌、组成及光学性能;利用X射线光电子能谱分析纳米线的元素化学价态和组成。通过分析沉积Pt前后In_(2)O_(3)纳米线FET的电学性能发现,沉积Pt纳米颗粒后场效应晶体管阈值电压(Vth)有向右偏移的趋势,开关比(Ion/Ioff)有所下降,载流子浓度降低,载流子迁移率增大。晶体管阈值电压(Vth)向右偏移可归因于沉积Pt后金属/半导体接触形成电子转移,此外纳米线的表面缺陷可以充当吸附位点,表面缺陷吸附的氧和水分子将捕获来自纳米线的自由电子,导致表面电子消耗,从而使得载流子浓度降低。研究结果表明,Pt金属纳米颗粒对In_(2)O_(3)纳米线FET的电学性能存在一定的影响。 展开更多
关键词 In_(2)O_(3)纳米线fet 阈值电压 Pt金属纳米颗粒 载流子浓度
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下一代CMOS纳米线:从原子级到电路级仿真
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作者 Udita Kapoor Sean CKelly +9 位作者 Mark Townsend Derek Kimpton Eric Guichard 欧阳文捷 Sebastien Martini Thierry Poiroux Oliver Rozeau James Charles Daniel Lemus Tillmann Kubis 《中国集成电路》 2021年第9期37-41,共5页
本文介绍了一个基于纳米线的环形振荡器电路的完整仿真流程,其中的有源器件运用了原子级器件模拟器对其进行了仿真。该仿真的结果已被证明适合于专门为纳米线/GAA环栅场效应晶体管(FET)制定的有源器件SPICE紧凑模型。最后,本文中把有源... 本文介绍了一个基于纳米线的环形振荡器电路的完整仿真流程,其中的有源器件运用了原子级器件模拟器对其进行了仿真。该仿真的结果已被证明适合于专门为纳米线/GAA环栅场效应晶体管(FET)制定的有源器件SPICE紧凑模型。最后,本文中把有源器件纳入SPICE网表,其中包括了后端电阻和电容寄生电阻。 展开更多
关键词 TCAD仿真 原子器件仿真 SPICE仿真 纳米线fet
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三维晶体管和后CMOS器件的进展 被引量:2
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作者 赵正平 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2014年第1期1-11,共11页
2012年当量产的集成电路的特征尺寸进入22 nm时,三维晶体管新结构成为纳电子发展的主流,标志纳电子学的发展由应力Si时代进入三维晶体管时代。介绍了多栅晶体管的发展过程,包括双栅、鳍栅、Pi型栅、Ω型栅、三栅和环形栅等FET关键技术... 2012年当量产的集成电路的特征尺寸进入22 nm时,三维晶体管新结构成为纳电子发展的主流,标志纳电子学的发展由应力Si时代进入三维晶体管时代。介绍了多栅晶体管的发展过程,包括双栅、鳍栅、Pi型栅、Ω型栅、三栅和环形栅等FET关键技术的突破和由于栅极控制沟道电子能力增加而导致的器件性能的改善。同时,还介绍了后CMOS器件的新进展,包含InGaAs n沟道鳍栅FET、环栅纳米线FET、Ge n/p沟道鳍栅FET、碳纳米管FET、石墨烯FET、隧穿FET、单电子晶体管和自旋电子学等,以及后CMOS器件的评定和终结CMOS器件模型。 展开更多
关键词 鳍栅fet 三栅fet InGaAs鳍栅fet 环栅纳米线fet Ge鳍栅fet 纳米fet 石墨烯fet 隧穿fet 自旋器件
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5nm生产线的挑战 被引量:4
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作者 莫大康 《集成电路应用》 2016年第3期22-24,共3页
集成电路芯片的制造技术已经进入16/14nm时代,10nm甚至7nm时基本上可以使用现在同样的制造设备,似乎已无悬念。业界普遍认为5nm肯定是个坎,如果EUV光刻设备不能准备好,逼迫要采用五次图形曝光技术(FP)。另一方面,晶体管结构的创新和半... 集成电路芯片的制造技术已经进入16/14nm时代,10nm甚至7nm时基本上可以使用现在同样的制造设备,似乎已无悬念。业界普遍认为5nm肯定是个坎,如果EUV光刻设备不能准备好,逼迫要采用五次图形曝光技术(FP)。另一方面,晶体管结构的创新和半导体材料的创新、互连技术与工艺控制技术都是5nm工艺将面临的关键点。 展开更多
关键词 集成电路制造 5nm EUV光刻 FINfet 纳米线fet
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Optoelectronic switching of nanowire-based hybrid organic/oxide/semiconductor field-effect transistors 被引量:1
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作者 Eunhye Baek Sebastian Pregl +6 位作者 Mehrdad Shaygan Lotta Romhildt Walter M. Weber Thomas Mikolajick DmitryA. Ryndyk Larysa Baraban Gianaurelio Cuniberti 《Nano Research》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第4期1229-1240,共12页
A novel photosensitive hybrid field-effect transistor (FET) which consists of a multiple-shell of organic porphyrin film/oxide/silicon nanowires is presented. Due to the oxide shell around the nanowires, photoswitch... A novel photosensitive hybrid field-effect transistor (FET) which consists of a multiple-shell of organic porphyrin film/oxide/silicon nanowires is presented. Due to the oxide shell around the nanowires, photoswitching of the current in the hybrid nanodevices is guided by the electric field effect, induced by charge redistribution within the organic film. This principle is an alternative to a photoinduced electron injection, valid for devices relying on direct junctions between organic molecules and metals or semiconductors. The switching dynamics of the hybrid nanodevices upon violet light illumination is investigated and a strong dependence on the thickness of the porphyrin film wrapping the nanowires is found. Furthermore, the thickness of the organic films is found to be a crucial parameter also for the switching efficiency of the nanowire FET, represented by the ratio of currents under light illumination (ON) and in dark conditions (OFF). We suggest a simple model of porphyrin film charging to explain the optoelectronic behavior of nanowire FETs mediated by organic film/oxide/semiconductor junctions. 展开更多
关键词 hybrid nanoelectronics silicon nanowirefield-effect transistors porphyrin optoelectronic switching organic/oxide/semiconductor junctions
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