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不同负偏压下磁控溅射纳米TiAlN薄膜的微观结构与耐蚀性能
被引量:
8
1
作者
曹慧
郭玉利
韩晓雷
《材料保护》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第12期18-22,共5页
目前在AZ31镁合金表面利用磁控溅射法制备TiAlN薄膜的研究不多,且未针对负偏压的变化研究Al原子掺杂后薄膜结构及耐腐蚀性能的变化情况。选择射频电源,利用磁控溅射(Magnetron sputtering,MS)方法在AZ31上制备了防腐蚀性能良好的纳米Ti...
目前在AZ31镁合金表面利用磁控溅射法制备TiAlN薄膜的研究不多,且未针对负偏压的变化研究Al原子掺杂后薄膜结构及耐腐蚀性能的变化情况。选择射频电源,利用磁控溅射(Magnetron sputtering,MS)方法在AZ31上制备了防腐蚀性能良好的纳米TiAlN薄膜。分别采用X射线衍射仪(XRD)、透射电镜(TEM)和扫描电镜(SEM)测试观察了薄膜的微观特征,借助电化学工作站测试了薄膜在3.5%NaCl溶液中的极化曲线和交流阻抗谱来表征薄膜的耐腐蚀性能。结果表明:基体施加的负偏压大小对薄膜的结晶和生长有较大的影响,膜层主要由TiAlN、AlN和TiN 3相组成,高分辨像和选区电子衍射显示薄膜为细小的多晶结构,3组负偏压下的平均晶粒尺寸分别为35.76,41.22,38.95 nm;薄膜具有较好的耐腐蚀性,腐蚀电位从基体的-1.545 V提高到-1.070 V,电流密度下降了2个数量级,交流阻抗的Nyquist谱和Bode-|Z|谱显示负偏压为45 V的薄膜耐腐蚀性能最好。
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关键词
磁控溅射
纳米tialn薄膜
微观结构
耐蚀性能
负偏压
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职称材料
题名
不同负偏压下磁控溅射纳米TiAlN薄膜的微观结构与耐蚀性能
被引量:
8
1
作者
曹慧
郭玉利
韩晓雷
机构
内蒙古机电职业技术学院冶金系
出处
《材料保护》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第12期18-22,共5页
文摘
目前在AZ31镁合金表面利用磁控溅射法制备TiAlN薄膜的研究不多,且未针对负偏压的变化研究Al原子掺杂后薄膜结构及耐腐蚀性能的变化情况。选择射频电源,利用磁控溅射(Magnetron sputtering,MS)方法在AZ31上制备了防腐蚀性能良好的纳米TiAlN薄膜。分别采用X射线衍射仪(XRD)、透射电镜(TEM)和扫描电镜(SEM)测试观察了薄膜的微观特征,借助电化学工作站测试了薄膜在3.5%NaCl溶液中的极化曲线和交流阻抗谱来表征薄膜的耐腐蚀性能。结果表明:基体施加的负偏压大小对薄膜的结晶和生长有较大的影响,膜层主要由TiAlN、AlN和TiN 3相组成,高分辨像和选区电子衍射显示薄膜为细小的多晶结构,3组负偏压下的平均晶粒尺寸分别为35.76,41.22,38.95 nm;薄膜具有较好的耐腐蚀性,腐蚀电位从基体的-1.545 V提高到-1.070 V,电流密度下降了2个数量级,交流阻抗的Nyquist谱和Bode-|Z|谱显示负偏压为45 V的薄膜耐腐蚀性能最好。
关键词
磁控溅射
纳米tialn薄膜
微观结构
耐蚀性能
负偏压
Keywords
magnetron sputtering
nano
tialn
coating
microstructure
corrosion resistance
negative bias
分类号
TB383.2 [一般工业技术—材料科学与工程]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
不同负偏压下磁控溅射纳米TiAlN薄膜的微观结构与耐蚀性能
曹慧
郭玉利
韩晓雷
《材料保护》
CAS
CSCD
北大核心
2018
8
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职称材料
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