硫酸-双氧水体系闪蚀药水在精细线路成型中的应用

研究硫酸-双氧水体系闪蚀药水在精细线路成型中的应用,结果表明:该药水不仅能提高线路的抗侧蚀能力,保持线路纵横蚀刻比在1.5以上,且能稳定控制双氧水浓度、蚀铜速率以及线路形状,适用于线上长期管控使用。