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TDL-Ta60型单晶炉的研制
被引量:
1
1
作者
高利强
王庆
+1 位作者
王建春
董淑梅
《电子工业专用设备》
2005年第1期71-74,共4页
介绍了TDL-Ta60型单晶炉的设计思路及工作原理,结合晶体生长的特殊工艺要求,分析了其主要结构及特点。
关键词
单晶炉
结构
直拉法
线圈升降
下载PDF
职称材料
题名
TDL-Ta60型单晶炉的研制
被引量:
1
1
作者
高利强
王庆
王建春
董淑梅
机构
西安理工大学
出处
《电子工业专用设备》
2005年第1期71-74,共4页
文摘
介绍了TDL-Ta60型单晶炉的设计思路及工作原理,结合晶体生长的特殊工艺要求,分析了其主要结构及特点。
关键词
单晶炉
结构
直拉法
线圈升降
Keywords
the single crystal growth furnace, structure,CZ method,winding ascend
分类号
TF806 [冶金工程—有色金属冶金]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
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1
TDL-Ta60型单晶炉的研制
高利强
王庆
王建春
董淑梅
《电子工业专用设备》
2005
1
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