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ArF准分子激光器线宽压缩技术 被引量：15
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作者 张海波 楼祺洪 +2 位作者 周军 董景星 魏运荣 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2009年第12期46-51,共6页
ArF准分子激光器是实现45nm技术节点光刻的主流光源。综述了准分子激光器的研究现状,介绍了主振荡功率放大(MOPA)与种子注入锁定系统(ILS)双腔结构以及主要波长分离元件,着重介绍了深紫外波长区193nm的光谱线宽压缩技术。
关键词 激光器 准分子激光器 线宽压缩技术 主振荡功率放大
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