CIV共振谱线的电子碰撞展宽的理论计算

使用Ｒ－矩阵方法，利用碰撞近似和密耦理论，计算了确定ＣＩＶ ２ｓ Ｓ－２ｐ２Ｐ共振 谱线的碰撞参数，并由此得到了在电子密度为１０ｃｍ－３的条件下，共振谱线的线宽和线移随 温度的变化关系。计算得到的线宽与半经典的理论计算值符合得比较好，但大约只有实验线宽 的一半。

半加成法工艺研究

半加成法适合生产(10 m/10 m)^(50 m/50 m)之间的精细线宽线距,目前主要有两种工艺:改良型半加成法和半加成法。本文主要探讨上述两种工艺实现方法,分析其关键工艺及业界前瞻性技术,最后对两种工艺进行对比。