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衬底负偏压对线性离子束DLC膜微结构和物性的影响 被引量:10
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作者 代伟 吴国松 +1 位作者 孙丽丽 汪爱英 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期598-603,共6页
采用一种新型线性离子束PVD技术制备出大面积类金刚石薄膜(DLC膜),研究了衬底负偏压对薄膜微结构和物性的影响.结果表明:制备出的类金刚石薄膜在300 mm×100 mm范围内纵向厚度均方差约10-12 nm,横向薄膜厚度均方差约2-4 nm.随着衬... 采用一种新型线性离子束PVD技术制备出大面积类金刚石薄膜(DLC膜),研究了衬底负偏压对薄膜微结构和物性的影响.结果表明:制备出的类金刚石薄膜在300 mm×100 mm范围内纵向厚度均方差约10-12 nm,横向薄膜厚度均方差约2-4 nm.随着衬底偏压的提高,薄膜中sp^3键的含量先增加后减小,在衬底偏压为-100 V时sp^3键的含量最大;DLC膜的残余应力、硬度和弹性模量与sp^3键的含量呈近似线性的关系,在衬底偏压为-100 V时其最大值分别为3.1 GPa、26 GPa和230 GPa.DLC薄膜的摩擦学性能与薄膜中sp^3碳杂化键的含量密切相关,但是受衬底偏压的影响不大,其摩擦系数大多小于0.25.偏压对磨损的影响很大,在偏压比较低(0~-200 V)时,薄膜的磨损率约为10^(-8)mm^3/N·m,偏压升高到300 V磨损率急剧提高到10^(-7)mm^3/N·m. 展开更多
关键词 无机非金属材料 线性离子束 DLC薄膜 微结构 力学性能 摩擦性能
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基体温度对线性离子束技术制备α-C∶H薄膜结构和性能的影响 被引量:2
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作者 黄雷 袁军堂 +1 位作者 汪振华 于斌斌 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2015年第7期31-34,98,共5页
采用线性离子束镀膜技术在YG6硬质合金上沉积氢化类金刚石(α-C∶H)薄膜,通过原子力显微镜、Raman光谱仪、球磨仪和洛氏压力仪等研究了基体温度对α-C∶H薄膜微观结构、表面形貌、耐磨性以及膜基结合性能的影响。结果表明:随着基体温度... 采用线性离子束镀膜技术在YG6硬质合金上沉积氢化类金刚石(α-C∶H)薄膜,通过原子力显微镜、Raman光谱仪、球磨仪和洛氏压力仪等研究了基体温度对α-C∶H薄膜微观结构、表面形貌、耐磨性以及膜基结合性能的影响。结果表明:随着基体温度升高,薄膜中sp3键含量和耐磨性能先降低后提高,表面粗糙度先减小后增大;基体温度在80℃时,制备的薄膜最为光滑,而sp3键含量最低,薄膜耐磨性最差;基体温度对膜基结合性能没有明显的影响。 展开更多
关键词 线性离子束 α-C∶H薄膜 基体温度 显微结构 性能
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线性离子束制备DLC薄膜的结构和性能 被引量:2
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作者 周陶 袁军堂 +1 位作者 黄雷 汪振华 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第6期48-54,共7页
为研究线性离子束技术在不同基体材料上沉积DLC薄膜的结构和性能,分别在YG6硬质合金、SKD11不锈钢和T7451铝合金表面沉积DLC(类金刚石)薄膜,并采用Cr作为过渡层,缓解膜基不匹配性。通过原子力显微镜、台阶仪和Raman光谱研究薄膜的表面... 为研究线性离子束技术在不同基体材料上沉积DLC薄膜的结构和性能,分别在YG6硬质合金、SKD11不锈钢和T7451铝合金表面沉积DLC(类金刚石)薄膜,并采用Cr作为过渡层,缓解膜基不匹配性。通过原子力显微镜、台阶仪和Raman光谱研究薄膜的表面形貌和微观结构;利用划痕仪和摩擦磨损试验机对薄膜膜基结合强度及耐磨性进行测试。结果表明:采用该技术制备的DLC薄膜均匀光滑,表面粗糙度Ra仅为5.5nm;DLC/Cr/SKD11膜系的ID/IG值低于DLC/Cr/YG6膜系和DLC/Cr/T7451膜系,说明沉积于SKD11表面的DLC含有较多的sp3 C;DLC/Cr/SKD11和DLC/Cr/T7451膜系膜基结合强度为42.2N和23.2N,而DLC/Cr/YG6膜系在120N载荷范围内未有明显破损脱落,结合强度最好;DLC/Cr/YG6膜系摩擦因数(0.09)小于DLC/Cr/SKD11膜系(0.14)和DLC/Cr/T7451膜系(0.32),说明其具有较好耐磨性能。由此看出,不同基体上制备的DLC薄膜结构不同,结合强度和耐磨性也有所差别。 展开更多
关键词 线性离子束 类金刚石 结合强度 耐磨性
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基于线性离子束技术的镁合金表面类金刚石膜的制备与性能研究 被引量:1
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作者 吴国松 代伟 +2 位作者 孙丽丽 胡清文 汪爱英 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第S1期172-175,179,共5页
为了提高AZ31镁合金的力学性能和耐蚀性能,采用线性离子束技术在其表面沉积了类金刚石薄膜。分别利用原子力显微镜和扫描电子显微镜观察了薄膜的表面形貌和截面形貌,利用X射线衍射分析了薄膜的相结构,利用X射线光电子能谱分析了薄膜中... 为了提高AZ31镁合金的力学性能和耐蚀性能,采用线性离子束技术在其表面沉积了类金刚石薄膜。分别利用原子力显微镜和扫描电子显微镜观察了薄膜的表面形貌和截面形貌,利用X射线衍射分析了薄膜的相结构,利用X射线光电子能谱分析了薄膜中元素的价态。利用纳米压痕仪和显微硬度计考察了镁合金镀膜后的表面硬度。利用极化曲线考察了镀膜镁合金在3.5%(质量分数)氯化钠溶液中的耐腐蚀性能。结果表明,利用线性离子束可以获得光滑致密的类金刚石膜,镀膜后镁合金的表面硬度和耐蚀性能得到显著提高。 展开更多
关键词 镁合金 类金刚石薄膜 线性离子束 硬度 耐蚀性能
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Nonlinear Structures in an Ion-Beam Plasmas Including Dust Impurities with Nonthermal Nonextensive Electrons
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作者 Debjit Dutta Biswajit Sahu 《Communications in Theoretical Physics》 SCIE CAS CSCD 2017年第7期117-124,共8页
The properties of dust ion acoustic waves are investigated in an unmagnetized multicomponent plasma system consisting of ion beam, charged positive and negative ions, electrons obeying nonthermal-Tsallis distribution ... The properties of dust ion acoustic waves are investigated in an unmagnetized multicomponent plasma system consisting of ion beam, charged positive and negative ions, electrons obeying nonthermal-Tsallis distribution and stationary negatively charged dust grains by the conventional Sagdeev pseudopotential method, through which the condition for existence of several nonlinear structures is analyzed theoretically. The dispersion relation for electrostatic waves is derived and analyzed and an expression of the energy integral equation is obtaJned. It is reported here that our plasma model supports solitions, double layers and supersoliton solutions for certain range of parameters. Finally, the effects of different physical plasma parameters on these nonlinear structures are studied numerically. The present theory should be helpful in understanding the salient features of the electrostatic waves in space and in laboratory plasmas where two distinct groups of ions and non-Maxwellian distributed electrons are present. 展开更多
关键词 multicomponent plasma dust ion acoustic waves solitons and supersolitons
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