特殊材料蚀刻线宽精度控制能力及控制方法

文章主要针对特殊材料蚀刻加工线宽的精度控制，通过不同铜厚和不同的补偿值进行验证，总结出特殊材料蚀刻过程中的补偿值和CPK对应关系，从而对特殊材料蚀刻，影响因素进行初步分析和探讨，为业界特殊材料蚀刻加工线条，提供一定的参考和借鉴。