2m光栅线纹自动测量仪

描述一台能够对长度达１ｍ的线纹尺和长度达２ｍ的光栅尺（和光栅线位移传感器）进行自动测量的激光干涉仪。干涉仪设计成双干涉光路系统，以消除光栅尺安装引入的阿贝误差。这台测量仪采用干涉条纹计数原理，对光栅尺和线纹尺的线值精度进行检测，并能对光栅信号的质量进行评价。测量过程中。