脆性材料用固结金刚石线锯切割技术研究进展

脆性材料在光学元器件行业、半导体行业、光伏产业,石材行业等领域有着重要的应用.通过分析脆性材料常用切割方式、固结金刚石线锯切割原理、固结金刚石线锯制造工艺及固结金刚石线锯机床加工方式等,研究不同加工方式对脆性材料切割质量的影响.结果发现:单向循环式金刚石线锯机床能超长时间高速切割,且线锯线速度稳定,可实现硬脆材料的精密超精密切割,是未来发展的主流;而环形金刚石线锯是单向循环式金刚石线锯机床的重要组成部分,其加工制造工艺是未来发展的难点.

金刚石线锯切割技术研究进展

相比于传统切割加工,固结金刚石线锯切割效率很高,切缝很小,还能提高切片质量,不管是硬脆材料还是大直径材料,都能进行加工。对固结金刚石线锯切割方法、固结金刚石线锯的制备以及一些较为先进的线锯切割设备进行了综述,对其发展趋势进行了展望。