硅片线锯废料中硅粉回收的研究

采用称重法与激光粒度分析仪分析线锯废料的组份,研究不同情况下水力旋流初步富集、不同溶剂相转移再富集的硅粉回收效果,并用ICP-0ES检测回收硅粉的纯度。结果表明,不同批次的废料硅粉含量在4~6%;在进口压力为0.5MPa、循环4次、固含量为3%的条件下初步富集效果最佳;采用烷烃类有机溶剂(煤油)相转移再富集硅粉,在有机溶剂与硅粉质量比为6:1时,可提纯到99.5%的硅粉。对回收硅粉进行元素测定表明,回收硅粉的金属、B、P等杂质均处于可控范围,硅粉能够直接应用于多晶硅铸锭。

硅片线锯废料中固体粉末的氧化性能研究

采用SEM及激光粒度分析仪对线锯废料中的固体粉末进行形貌及粒度分析,利用XRD测试对固体粉末进行物相分析,并表征废料固体成分在切割过程中的氧化情况。研究表明:去除硅片线锯废料中的聚乙二醇(PEG)后,可得到分散的固体粉末,平均粒度约为3.7μm;在硅片切割过程中产生的固体粉末并没有明显的氧化现象,在80℃下的水中放置7天后没有检测到明显的氧化物存在。