应用织构极图研究ZnO外延膜的晶体取向特征

用MOCVD法在蓝宝石衬底上生长ZnO外延膜。用理学D/m ax 2550转靶衍射仪测量ZnO外延膜织构。观察到试样存在2种晶体取向关系：ZnO[11-20]//A l2O3[10-10]及ZnO[10-10]//A l2O3[10-10]。计算得到晶格取向极点分布平均半高宽为12.26O,且前一种取向晶体的数量是后者的13倍。探讨了2种取向的热力学稳定性。给出了外延膜取向特性的逐层分析结果。