某12英寸半导体超纯水工程工艺设计介绍及运行分析

文章介绍了江苏某12吋半导体芯片项目工厂超纯水系统的工程设计与运行情况。该系统共分三个工艺段,采用两床三塔离子交换预处理、RO反渗透及混床离子交换工艺的纯水后段制备系统、抛光混床以及膜脱气和终端超滤的抛光精处理系统,确保产水水质达到电子级高纯度纯水使用需求。该系统水平衡完整,满足同时考虑处理水量和自用水量,并且通过小流量循环的方式,能够适应用水量波动,有效降低系统能耗和药剂消耗的同时提升了整套系统超纯水供水的稳定性。系统在连续运行期间,超纯水离子浓度第三方检测合格,电阻率、颗粒度、TOC、DO、SiO2等指标连续在线监测合格,达到系统设计和使用要求。

超滤对清开灵注射液含量成分的影响

通过用5KD和10KD分子量超滤膜对清开灵注射液的精制终端"八混液"进行超滤,分析2个级别超滤膜对产品含量成分等影响。实验结果显示:10KD分子量终端超滤可用于清开灵注射液终端超滤,有益于产品质量提高;用5KD分子量对清开灵注射液进行终端超滤,损失含量较大,色泽浅,有关检验项目指标难以控制在标准范围内,有待于进一步实验研究。