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醋酸对绒面AZO薄膜表面织构均匀性的影响研究
1
作者
薛进奎
王海燕
+5 位作者
王新星
张家朝
穆慧慧
姚宁
李双阳
王星雨
《真空》
CAS
北大核心
2011年第2期33-36,共4页
以0.5%的稀盐酸中加入一定量醋酸后的溶液为腐蚀液,对利用直流磁控溅射方法制备的平面掺铝氧化锌(AZO)薄膜进行表面织构,并对加入醋酸后的AZO薄膜表面织构均匀性和反应机理进行研究。结果表明:在0.5%稀盐酸中所加醋酸量与盐酸体积比为0....
以0.5%的稀盐酸中加入一定量醋酸后的溶液为腐蚀液,对利用直流磁控溅射方法制备的平面掺铝氧化锌(AZO)薄膜进行表面织构,并对加入醋酸后的AZO薄膜表面织构均匀性和反应机理进行研究。结果表明:在0.5%稀盐酸中所加醋酸量与盐酸体积比为0.5:1时,对平面AZO薄膜腐蚀45 s能获得更均匀"陨石坑"状绒面结构,且有较高绒度;腐蚀液中较水分子大得多的醋酸分子的空间位阻作用在一定程度上能减缓腐蚀速率,使得比加醋酸前获得的AZO薄膜绒面更均匀。
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关键词
直流磁控溅射
绒面azo薄膜
表
面
织构
绒
度
均匀性
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职称材料
题名
醋酸对绒面AZO薄膜表面织构均匀性的影响研究
1
作者
薛进奎
王海燕
王新星
张家朝
穆慧慧
姚宁
李双阳
王星雨
机构
郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室
出处
《真空》
CAS
北大核心
2011年第2期33-36,共4页
基金
河南省科技厅攻关项目(编号:082102230010)
文摘
以0.5%的稀盐酸中加入一定量醋酸后的溶液为腐蚀液,对利用直流磁控溅射方法制备的平面掺铝氧化锌(AZO)薄膜进行表面织构,并对加入醋酸后的AZO薄膜表面织构均匀性和反应机理进行研究。结果表明:在0.5%稀盐酸中所加醋酸量与盐酸体积比为0.5:1时,对平面AZO薄膜腐蚀45 s能获得更均匀"陨石坑"状绒面结构,且有较高绒度;腐蚀液中较水分子大得多的醋酸分子的空间位阻作用在一定程度上能减缓腐蚀速率,使得比加醋酸前获得的AZO薄膜绒面更均匀。
关键词
直流磁控溅射
绒面azo薄膜
表
面
织构
绒
度
均匀性
Keywords
DC-magnetron sputtering
textured
azo
film
surface texture
haze
uniformity
分类号
TB43 [一般工业技术]
O484 [理学—固体物理]
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题名
作者
出处
发文年
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1
醋酸对绒面AZO薄膜表面织构均匀性的影响研究
薛进奎
王海燕
王新星
张家朝
穆慧慧
姚宁
李双阳
王星雨
《真空》
CAS
北大核心
2011
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