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BGA基板切割过程中唇缘效应的产生及改进措施 被引量:1
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作者 袁洁 赵宁 +2 位作者 南俊马 憨勇 徐可为 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2007年第5期443-446,共4页
采用两种不同结合剂硬度的金刚石刀片切割同一种BGA基板,通过对刀片刃口形貌的变化以及切割断面的分析,探讨了唇缘效应产生的原因。结果表明,在金刚石浓度、粒度及切割工艺等条件相同的情况下,刀片结合剂硬度是造成唇缘效应的最主要因素... 采用两种不同结合剂硬度的金刚石刀片切割同一种BGA基板,通过对刀片刃口形貌的变化以及切割断面的分析,探讨了唇缘效应产生的原因。结果表明,在金刚石浓度、粒度及切割工艺等条件相同的情况下,刀片结合剂硬度是造成唇缘效应的最主要因素,并提出了避免唇缘效应产生的改进措施。 展开更多
关键词 唇缘效应 金刚石刀片 结合刳硬度 BGA基板
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