期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式:
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
闪耀光栅制备工艺与结构保真性研究
1
作者
孙国良
王海容
+1 位作者
高鲜妮
蒋庄德
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第4期536-539,共4页
针对气体检测中分光应用的闪耀光栅,该文在硅片上制备聚甲基丙烯酸甲脂(PMMA)薄膜,采用热压印及后续工艺制备了硅基的聚甲基丙烯酸甲脂闪耀光栅,通过实验分析研究了复制闪耀光栅的保真特性。研究表明,通过聚甲基丙烯酸甲脂制备、热压印...
针对气体检测中分光应用的闪耀光栅,该文在硅片上制备聚甲基丙烯酸甲脂(PMMA)薄膜,采用热压印及后续工艺制备了硅基的聚甲基丙烯酸甲脂闪耀光栅,通过实验分析研究了复制闪耀光栅的保真特性。研究表明,通过聚甲基丙烯酸甲脂制备、热压印及后续工艺可得到具有高保真性的微闪耀光栅,而这种方法所获得的闪耀光栅与传统方法加工的闪耀光栅相比,在效率、成本方面均具有较明显的优势。
展开更多
关键词
热压印
闪耀光栅
制备工艺
聚甲基丙烯酸甲脂
结构保真性
下载PDF
职称材料
题名
闪耀光栅制备工艺与结构保真性研究
1
作者
孙国良
王海容
高鲜妮
蒋庄德
机构
机械制造系统工程国家重点实验室
西安交通大学机械工程学院
出处
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第4期536-539,共4页
基金
国家高新技术"八六三"基金资助项目(2009AA04Z330)
新世纪优秀人才支持计划基金资助项目(NCET-10-0643)
国家自然科学基金资助项目(90923001)
文摘
针对气体检测中分光应用的闪耀光栅,该文在硅片上制备聚甲基丙烯酸甲脂(PMMA)薄膜,采用热压印及后续工艺制备了硅基的聚甲基丙烯酸甲脂闪耀光栅,通过实验分析研究了复制闪耀光栅的保真特性。研究表明,通过聚甲基丙烯酸甲脂制备、热压印及后续工艺可得到具有高保真性的微闪耀光栅,而这种方法所获得的闪耀光栅与传统方法加工的闪耀光栅相比,在效率、成本方面均具有较明显的优势。
关键词
热压印
闪耀光栅
制备工艺
聚甲基丙烯酸甲脂
结构保真性
Keywords
hot-embossing lithography
flash grating
fabrication process
PMMA
structural fidelity
分类号
TB332 [一般工业技术—材料科学与工程]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
闪耀光栅制备工艺与结构保真性研究
孙国良
王海容
高鲜妮
蒋庄德
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2011
0
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部