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BCN薄膜的射频反应溅射法制备与结构特性
1
作者
岳金顺
程文娟
+2 位作者
蒋钢娟
贺德衍
陈光华
《材料科学与工程学报》
CAS
CSCD
2000年第z2期650-652,共3页
本文研究以六方BN为靶材,CH4为反应气体,利用射频溅射技术制备BCN三元化合物薄膜.样品的结构由X射线衍射谱、傅立叶变换红外吸收谱和X射线光电子能谱等方法进行表征.实验结果表明样品是具有类石墨涡旋蜂窝状结构的BCN三元化合物.通过改...
本文研究以六方BN为靶材,CH4为反应气体,利用射频溅射技术制备BCN三元化合物薄膜.样品的结构由X射线衍射谱、傅立叶变换红外吸收谱和X射线光电子能谱等方法进行表征.实验结果表明样品是具有类石墨涡旋蜂窝状结构的BCN三元化合物.通过改变CH4分压,能够控制薄膜中的C含量:随CH4分压的增高,薄膜中C含量增大,电导率也显著增大.当CH4分压比在10%附近时,样品呈现半导体特性,由电导率-温度关系曲线求得电导激活能约为0.8eV.
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关键词
BCN薄膜
射频反应溅射
结构和电学特性
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职称材料
题名
BCN薄膜的射频反应溅射法制备与结构特性
1
作者
岳金顺
程文娟
蒋钢娟
贺德衍
陈光华
机构
兰州大学物理系
出处
《材料科学与工程学报》
CAS
CSCD
2000年第z2期650-652,共3页
基金
"留法学者参加西部建设"启动基金资助项目
文摘
本文研究以六方BN为靶材,CH4为反应气体,利用射频溅射技术制备BCN三元化合物薄膜.样品的结构由X射线衍射谱、傅立叶变换红外吸收谱和X射线光电子能谱等方法进行表征.实验结果表明样品是具有类石墨涡旋蜂窝状结构的BCN三元化合物.通过改变CH4分压,能够控制薄膜中的C含量:随CH4分压的增高,薄膜中C含量增大,电导率也显著增大.当CH4分压比在10%附近时,样品呈现半导体特性,由电导率-温度关系曲线求得电导激活能约为0.8eV.
关键词
BCN薄膜
射频反应溅射
结构和电学特性
分类号
TB3 [一般工业技术—材料科学与工程]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
BCN薄膜的射频反应溅射法制备与结构特性
岳金顺
程文娟
蒋钢娟
贺德衍
陈光华
《材料科学与工程学报》
CAS
CSCD
2000
0
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职称材料
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