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一种用于制备大厚度MEMS结构层的浓硼掺杂方法(英文)
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作者 孙道恒 张豪尔 +3 位作者 占瞻 何杰 杜晓辉 王凌云 《纳米技术与精密工程》 CAS CSCD 2013年第4期314-319,共6页
在MEMS器件中,浓硼掺杂层通常为器件的结构层.但由于受表面固溶度及浓度梯度影响,该掺杂层(硼原子浓度≥5×1019cm-3)厚度越大所需的扩散时间越长.为了能在同等扩散工艺条件下,制备出更厚的浓硼掺杂层以满足器件要求,提出了多步扩散... 在MEMS器件中,浓硼掺杂层通常为器件的结构层.但由于受表面固溶度及浓度梯度影响,该掺杂层(硼原子浓度≥5×1019cm-3)厚度越大所需的扩散时间越长.为了能在同等扩散工艺条件下,制备出更厚的浓硼掺杂层以满足器件要求,提出了多步扩散法.即在保证总的累计扩散时间不变的前提下,将传统的扩散过程分为两个相对短的扩散周期.并且这两个周期连续进行,每个周期各包含一次预扩散和再分布.与传统的两步扩散相比,多步扩散法可为硅基底引入更大量的硼杂质,并且具有一定能力使硼杂质留在一定深度范围内.因此该方法可以获得更大的有效节深.实验中采用该方法成功制备出21μm厚的浓硼掺杂层.然而在文献中提到的采用传统两步法在同样条件下得到的厚度则小于15μm.从而验证了该方法可在同等扩散工艺条件下,可以制备出更厚的浓硼掺杂层. 展开更多
关键词 多步扩散法 浓硼掺杂 结构层制备
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Electrochemical Deposition of Ni-W Gradient Deposit and Its Structural Characterization
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作者 王宏智 姚素薇 张卫国 《Chinese Journal of Chemical Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 2003年第3期348-351,共4页
The Ni-W gradient deposit with nano-structure was prepared by an electrochemical deposition method.X-ray diffraction (XRD) and energy dispersive X-ray analysis (EDXA) indicate that the crystallite size of the deposit ... The Ni-W gradient deposit with nano-structure was prepared by an electrochemical deposition method.X-ray diffraction (XRD) and energy dispersive X-ray analysis (EDXA) indicate that the crystallite size of the deposit decreases from 10.3nm to 1.5nm and the crystal grating aberrance increases with the increase of W content in the growing direction of the deposit. The structure of deposit changes from crystalline to amorphous stepwise with associated increase of crystal grating aberrance, and presents gradient distribution. These show that the deposit isgradient with nano-structure. 展开更多
关键词 electrochemical deposition Ni-W alloy FGM AMORPHOUS
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