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VG-1高灵敏真空控制仪的研制
1
作者
吴春阳
康宁
孙旭
《真空》
CAS
北大核心
2000年第1期44-46,共3页
本文介绍了应用扩散硅压力传感器研制的 VG-
关键词
扩散硅
压力传感器
绝对真空计
真空
测量
下载PDF
职称材料
真空设备检修三要素
2
作者
吴根发
梁智岷
+1 位作者
张文丽
宋红
《四川真空》
2003年第1期13-17,共5页
本文概述了影响真空设备极限真空度三个主要原因，讲解了真设备检修方法及措施。
关键词
真空
设备
检修
极限
真空
度
真空
测量
绝对真空计
相对
真空计
下载PDF
职称材料
题名
VG-1高灵敏真空控制仪的研制
1
作者
吴春阳
康宁
孙旭
机构
东北微电子技术研究所
沈阳真空技术研究所
出处
《真空》
CAS
北大核心
2000年第1期44-46,共3页
文摘
本文介绍了应用扩散硅压力传感器研制的 VG-
关键词
扩散硅
压力传感器
绝对真空计
真空
测量
Keywords
spreading silicon
pressure sensor
vacuum gauge
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TB772 [一般工业技术—真空技术]
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职称材料
题名
真空设备检修三要素
2
作者
吴根发
梁智岷
张文丽
宋红
机构
四川国防科工委第二真空计量二级站四川成都
国投南光有限公司四川成都
出处
《四川真空》
2003年第1期13-17,共5页
文摘
本文概述了影响真空设备极限真空度三个主要原因，讲解了真设备检修方法及措施。
关键词
真空
设备
检修
极限
真空
度
真空
测量
绝对真空计
相对
真空计
分类号
TB77 [一般工业技术—真空技术]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
VG-1高灵敏真空控制仪的研制
吴春阳
康宁
孙旭
《真空》
CAS
北大核心
2000
0
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职称材料
2
真空设备检修三要素
吴根发
梁智岷
张文丽
宋红
《四川真空》
2003
0
下载PDF
职称材料
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