基于功率谱密度的静电悬浮加速度计分辨率估计方法

高精度静电悬浮加速度计常采用功率谱密度估计（PSD）来评估分辨率水平,商用PSD分析仪需实时在线分析,且分析时间长、频域分辨率低、成本高。为此提出了一种线下PSD估计方法,利用简易采集系统采集噪声信号,再进行PSD估计。给出了正确的PSD估计表达式,推导了加速度计分辨率与PSD的关系,通过实验对比了该方法与HP35670A动态分析仪分析结果,实验结果验证了该方法的有效性。最后用该方法分析了研制的静电悬浮加速度计原理样机X1、Y和Z2三个通道加速度噪声的PSD,得到0.1 Hz处PSD分别为：8.07×10-5g/Hz1/2、3.29×10^-8g/Hz1/2和2.39×10^-7g/Hz1/2;在带宽0.001~0.1 Hz内分辨率分别为4.64×10^-5g、4.21×10^-8g和1.51×10^-7g。