毫米波缝隙天线阵面光刻工艺

毫米波主动导引头缝隙天线阵面，具有面积大、缝隙数量多、精度高的特点，制造这样的缝隙天线阵面，在国内尚属首次。本文着重对缝隙天线阵面的光刻工艺进行了分析，对光刻工艺方法研制缝隙天线阵面的技术途径、工艺实验的结果和存在的主要问题进行了论述。

光刻技术的超常领域

本文着重对缝隙天线阵面的光刻技术进行了分析,对光刻技术方法研制缝隙天线阵面的技术途径、工艺实验的结果和存在的主要问题进行了论述。毫米波主动导引头缝隙天线阵面,具有面积大、缝隙多、精度高的特点,制造这样的缝隙天线阵面,在国内尚属首次。