高酸解性聚合物的合成及应用

采用常见的芳香二酸（对苯二甲酸和1,4-萘二甲酸）与1,4-二（2-乙烯氧基乙氧基）苯（1,4-DVEB）聚合,得到了2种新型的芳香酯缩醛聚合物,这些聚合物在各种常用溶剂如丙二醇甲醚醋酸酯（PG-MEA）、二氧六环、乙二醇乙醚中有较好的溶解性,分子量（Mn）3 000~5 000,热分解温度都大于230℃,用DSC测得其玻璃化转变温度在60℃左右.这2种酯缩醛聚合物在室温即可酸解,因此可与光产酸剂等组成无需后烘加热的正性化学增幅型感光成像材料,可用于高感度PS版或UV-CTP版感光剂.

漆酚缩醛胺/环氧树脂水性涂料的涂膜性能研究

由漆酚缩甲醛二乙烯三胺树脂(UFDP)乳液与环氧树脂(EP)乳液制备了水性涂料,用TG-DTA、IR等手段进行结构表征和性能测试。结果表明,m(UFDP)/m(EP)为2:1时,涂膜具有优良的物理机械性能、热稳定性能和耐化学介质腐蚀性能。

一种新型i-线化学增幅型光致抗蚀剂材料的制备及性质

将具有高酸解活性的酯缩醛聚合物与重氮萘醌磺酸酯配合,组成正性化学增幅型光致抗蚀剂,用于高感度化学增幅型i-线(365nm)光致抗蚀剂.实验结果表明:在酸的作用下,该类聚合物可分解为小分子片段;与传统的光致抗蚀剂体系相比,该体系用稀碱水显影时具有更高的溶解速率,且可进一步提高感度,可制作线宽小于0.5μm的图像.

含碘鎓盐光产酸剂和增感染料的化学增幅型i-线正性光致抗蚀剂

4,4′-二甲苯基三氟甲磺酸碘鎓盐可以被染料增感,在365nm光照时分解产酸.尽管产生的酸与染料的胺基发生作用,依然能在后烘过程中催化缩醛聚合物酸敏基团的分解,但需要稍高的后烘温度和稍长的后烘时间.基于此,本文将酚醛树脂、缩醛聚合物、碘鎓盐产酸剂和染料组成了一种新型的化学增幅型i-线正性光致抗蚀剂材料,在曝光量为100mJ/cm2时可得到分辨率为0.8μm的清晰图形.染料与鎓盐光产酸剂组成的感光体系具有很好的漂白性,改善了抗蚀剂材料的透明性.