期刊文献+
共找到1篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
单点金刚石飞切KDP晶体表面缺陷深度的研究 被引量:4
1
作者 冉钰庭 黄宏彪 +1 位作者 尹进 朱健强 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第5期20-26,共7页
基于印压断裂力学理论分析了磷酸二氢钾晶体表面缺陷面积与中位裂纹深度的关系.在刀具参量和主轴转数一定的情况下,采用不同切削深度和进给速率对磷酸二氢钾晶体进行单点金刚石飞切加工实验,并计算晶体表面单位面积缺陷的占比系数.实验... 基于印压断裂力学理论分析了磷酸二氢钾晶体表面缺陷面积与中位裂纹深度的关系.在刀具参量和主轴转数一定的情况下,采用不同切削深度和进给速率对磷酸二氢钾晶体进行单点金刚石飞切加工实验,并计算晶体表面单位面积缺陷的占比系数.实验结果表明,晶体表面缺陷深度与面积占比系数成正相关,与理论分析结果相符,进而提出了利用计算晶体表面缺陷占比系数估测缺陷深度的方法.最后基于该方法得到高效率切削步骤,并加工获得了表面粗糙度算术平均值优于5nm的超光滑晶体表面. 展开更多
关键词 非线性光学 缺陷深度估测 飞切加工 磷酸二氢钾晶体 高效率切削
下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部