用网状阴极法在碳钢表面沉积氮化钽薄膜

介绍了一种新型的在钢铁基体上制备氮化钽薄膜的方法———网状阴极法。其设备简单、价格低廉。实验中发现 ,在各个参数配比合适的条件下 ,可制备出结构为fcc(面心立方 )和hex(密排六方 )的氮化钽薄膜。薄膜较致密且均匀 ,与基体的结合好。同时分析了在最佳工艺参数条件下合成氮化钽膜的成分、组织、表面、断口形貌和结合力等。该方法为氮化钽薄膜作为结构材料使用提供了一种新的途径。

网状双阴极法纯钛表面无氢渗碳的研究

采用网状双阴极法对纯钛表面进行离子无氢渗碳,在纯钛表面形成冶金结合的高硬度合金渗层;硬度检测表明纯钛表面硬度可达1050HK,合金渗层硬度呈梯度分布;辉光放电光电子谱仪(GDS)渗层成分检测结果表明表面含碳量可达29.8%,合金渗层的碳含量也呈梯度分布;划痕试验显示渗层与基体结合好、无剥离现象。

网状阴极辉光放电法在钛合金表面渗镀Ta的应用

设计了一种网状阴极溅射靶,它是由多个空心阴极并列交叉组合而成。结构简单,溅射率高。将其用于双层辉光离子渗钽中,在钛合金(Ti-6Al-4V)表面可形成纯Ta沉积层和合金扩散层的复合层组织,进一步提高了钛合金的耐蚀性,是一种高耐蚀合金。

网状阴极溅射法在钛合金表面渗镀Ta的耐蚀性研究

研究设计了一种网状阴极溅射靶 ,它是由多个空心阴极并列交叉组合而成。结构简单 ,溅射率高。将其用于双层辉光离子渗钽中 ,在钛合金TC4(Ti 6Al 4V)表面可形成纯Ta沉积层和合金扩散层的复合层组织 ,进一步提高了钛合金的耐蚀性 。