列阵式二维硅V形槽的研制与应用研究

详尽介绍了采用硅各向异性腐蚀技术制备列阵式二维硅V形槽的工艺,探讨了此V形槽在光纤列阵与波导耦合及光纤列阵之间耦合中的应用。实验结果表明,使用此V形槽,Ti扩散LiNbO_3平面波导与单模光纤的耦合效率达到了60％。