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收发分体式四自由度激光测量系统耦合误差建模与补偿 被引量:4
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作者 程真英 梅寒冰 +2 位作者 刘欣 雷英俊 李瑞君 《计量学报》 CSCD 北大核心 2021年第11期1409-1417,共9页
线性导轨广泛应用于精密机床和仪器,其运动精度直接影响所在设备的空间定位精度。针对团队前期研制的收发分体式四自由度激光测量系统可以测量导轨直线度、俯仰角和偏摆角,但其直线度与角度测量结果间存在耦合干扰问题,提出了一种误差... 线性导轨广泛应用于精密机床和仪器,其运动精度直接影响所在设备的空间定位精度。针对团队前期研制的收发分体式四自由度激光测量系统可以测量导轨直线度、俯仰角和偏摆角,但其直线度与角度测量结果间存在耦合干扰问题,提出了一种误差建模与补偿方法。根据激光测量系统的原理和结构,分析并确定了耦合误差的主要来源,利用矩阵光学及齐次坐标变换的方法建立了耦合误差的补偿模型。以雷尼绍XL-80型激光干涉仪为基准,对所建立的误差补偿模型进行了实验验证,结果表明:利用所建模型补偿后的直线度和角度测量误差均降低了75%以上。所提出的误差建模与补偿方法不但有助于提高四自由度激光测量系统的精度,同时也有助于降低其成本。 展开更多
关键词 计量学 几何运动误差 线性导轨 激光测量系统 四自由度 耦合误差建模
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柔性X-Y-Z-θz四自由度位移传感器的静态解耦方法研究
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作者 祖洪飞 潘奔 彭来湖 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2022年第1期99-106,共8页
多维位移间的耦合是影响柔性四自由度位移传感器测量精度的重要因素,另外由于材料的高弹性,使传感器存在较大的迟滞以及一定的非线性,进一步影响了测量精度。针对以上问题,本文首先提出采用对传感器正反行程分别进行静态解耦的方法来解... 多维位移间的耦合是影响柔性四自由度位移传感器测量精度的重要因素,另外由于材料的高弹性,使传感器存在较大的迟滞以及一定的非线性,进一步影响了测量精度。针对以上问题,本文首先提出采用对传感器正反行程分别进行静态解耦的方法来解决迟滞的问题;其次,通过对三种常用解耦算法的分析比较,得出基于耦合误差建模的静态解耦算法适用于四自由度位移传感器的解耦,并在其线性的理论基础上推导得到了适合文中使用的四自由度位移传感器的非线性模型。结果表明,在使用基于耦合误差建模的静态非线性解耦算法后四自由度位移传感器的Ⅱ类误差降低了大约2~16倍,测量精度得到有效提高。 展开更多
关键词 位移传感器 多自由度 静态解耦 非线性 耦合误差建模
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Contouring error modeling and simulation of a four-axis motion control system
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作者 张代林 张旭 +3 位作者 谢经明 袁楚明 陈幼平 汤漾平 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第1期141-149,共9页
A layered modeling method is proposed to resolve the problems resulting from the complexity of the error model of a multi-axis motion control system. In this model, a low level layer can be used as a virtual axis by t... A layered modeling method is proposed to resolve the problems resulting from the complexity of the error model of a multi-axis motion control system. In this model, a low level layer can be used as a virtual axis by the high level layer. The first advantage of this model is that the complex error model of a four-axis motion control system can be divided into several simple layers and each layer has different coupling strength to match the real control system. The second advantage lies in the fact that the controller in each layer can be designed specifically for a certain purpose. In this research, a three-layered cross coupling scheme in a four-axis motion control system is proposed to compensate the contouring error of the motion control system. Simulation results show that the maximum contouring error is reduced from 0.208 mm to 0.022 mm and the integration of absolute error is reduced from 0.108 mm to 0.015 mm, which are respectively better than 0.027 mm and 0.037 mm by the traditional method. And in the bottom layer the proposed method also has remarkable ability to achieve high contouring accuracy. 展开更多
关键词 layered modeling ship model machining motion control cross coupling control
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