微镜扭转-弯曲耦合变形静态特性分析

给出了仅考虑微镜扭转运动的静力学分析模型,在分析微镜扭转梁因非线性静电力引起弯曲变形的基础上,建立了静电驱动微镜扭转-弯曲耦合非线性静力学模型.2种模型的临界吸合电压、临界吸合转角以及微镜转角随电压的变化关系与试验结果对比表明:所建耦合静态模型更符合实际情况,微镜垂直方向的位移和微扭转梁宽度的变化对微镜的临界吸合电压和临界吸合转角影响显著.