1
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一种用于振动测量的MEMS电磁式加速度计 |
朱旭
金丽
解琨阳
张敏娟
李孟委
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《微纳电子技术》
CAS
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2024 |
0 |
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2
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基于兰姆波压电谐振器的高频低相噪MEMS振荡器仿真研究 |
赵颖
崔向东
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《压电与声光》
CAS
北大核心
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2024 |
0 |
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3
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微机电系统(MEMS)技术的研究与应用 |
高世桥
曲大成
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《科技导报》
CAS
CSCD
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2004 |
29
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4
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微机电系统(MEMS)技术及发展趋势 |
王亚珍
朱文坚
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《机械设计与研究》
CSCD
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2004 |
26
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5
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微机电系统(MEMS)磨损的分形分析 |
熊翔
周焱
朱建新
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《润滑与密封》
CAS
CSCD
北大核心
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2008 |
5
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6
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微机电系统(MEMS)促进测量学发展 |
黄俊钦
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《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2001 |
6
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7
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立体微型器件的微制造技术及其在微机电系统(MEMS)的应用 |
李敬锋
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《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2002 |
8
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8
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碳纳米管在微机电系统(MEMS)中的应用研究 |
叶雄英
郭琳瑞
周兆英
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《微细加工技术》
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2004 |
2
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9
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《微机电系统(MEMS)》专题文章导读 |
吴一辉
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《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2005 |
2
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10
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微机电系统(MEMS)与纳机电系统(NEMS) |
周兆英
杨兴
熊继军
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《测试技术学报》
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2002 |
1
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11
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聚合物前驱体转化法制备陶瓷微机电系统 |
陈伟伟
陈立新
宋家乐
景晨丽
王汝敏
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《真空电子技术》
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2007 |
1
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12
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微机电系统(MEMS)的研究进展 |
孙道恒
王明亮
郑剑铭
张玉德
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《机电技术》
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2003 |
1
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13
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微机电系统(MEMS)的干涉测量方法的研究进展 |
吕捷
王鸣
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《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
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2003 |
0 |
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14
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SOC片上系统、MEMS微机电系统和Smart Dust智能微尘 |
綦希林
曲非非
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《微计算机信息》
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2003 |
7
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15
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微机电系统(MEMS)在施药中的应用 |
彭秋莲
李满华
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《井冈山大学学报(自然科学版)》
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2007 |
0 |
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16
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微机电系统MEMS仿真与建模研究 |
杨雪君
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《陕西工业职业技术学院学报》
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2011 |
0 |
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第一项由我国主导制定的微机电系统(MEMS)国际标准IEC 62047-25:2016正式发布 |
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《中国标准导报》
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2016 |
1
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18
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专题策划活动启事——MEMS微机电系统专题 |
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《电气应用》
北大核心
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2007 |
0 |
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19
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双控制模式MEMS风速风向传感器设计、仿真及制备 |
田舟洲
谢雨珏
易真翔
秦明
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《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
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2024 |
0 |
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20
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GLOBAL FOUNDRIES宣布与SVTC合作,加速推动微机电系统(MEMS)晶圆量产 |
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《电子与电脑》
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2010 |
0 |
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