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聚四氟乙烯薄膜制备与赝火花脉冲电子束烧蚀过程
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作者 韩丽君 江兴流 赵静秋 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第S1期432-432,共1页
聚四氟乙烯薄膜制备与赝火花脉冲电子束烧蚀过程韩丽君，江兴流，赵静秋（北京航空航天大学应用数理系）近年来，许多实验室大力研究如何获得高质量的聚四氟乙烯（ＰＴＦＥ）薄膜的方法，其中有用真空蒸发法、射频溅射法和四氟化碳单体... 聚四氟乙烯薄膜制备与赝火花脉冲电子束烧蚀过程韩丽君，江兴流，赵静秋（北京航空航天大学应用数理系）近年来，许多实验室大力研究如何获得高质量的聚四氟乙烯（ＰＴＦＥ）薄膜的方法，其中有用真空蒸发法、射频溅射法和四氟化碳单体气体等离子体聚合法等方法，但这些方... 展开更多
关键词 脉冲电子束 聚四氟乙烯 薄膜制备 赝火花 烧蚀法 国家自然科学基金 聚四氯乙烯薄膜 北京航空航天大学 聚四氟乙烯薄膜 体等离子体
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