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基于聚氨酯垫的4H-SiC单晶衬底研磨性质研究
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作者 吴锐文 宋华平 +2 位作者 杨军伟 屈红霞 赖晓芳 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2023年第5期759-765,共7页
4H-SiC单晶是典型的难加工材料,研磨加工后表面损伤的密度和深度直接影响后续抛光工序的质量和效率。采用普通铸铁盘研磨工艺会导致晶圆表面划痕多、边缘破片以及去除率不稳定等问题。本实验采用聚氨酯垫研磨工艺,减少研磨划痕,提高了... 4H-SiC单晶是典型的难加工材料,研磨加工后表面损伤的密度和深度直接影响后续抛光工序的质量和效率。采用普通铸铁盘研磨工艺会导致晶圆表面划痕多、边缘破片以及去除率不稳定等问题。本实验采用聚氨酯垫研磨工艺,减少研磨划痕,提高了研磨后的表面质量,实现了SiC衬底的精准研磨。通过改变金刚石磨料粒度、磨抛盘转速、研磨压强进行SiC衬底的研磨实验,探究最优工艺参数及各条件对研磨效果的影响规律。实验结果表明:随着研磨盘速度增大,研磨的去除率增大,其对应的粗糙度先降低后升高;增大金刚石磨料的粒径会增大研磨的去除率,但研磨后表面粗糙度也会持续增大;通过增加研磨压强,材料的去除率和表面粗糙度都将增加,但去除率增加的速率由快变慢,而粗糙度增加的速率逐渐加快。综合考虑,采用聚氨酯垫研磨时,较优研磨工艺参数为:金刚石研磨液浓度为3%,金刚石粒径为1μm,研磨液供给速度为5 mL/min,研磨压强为47 kPa,研磨转速35 r/min。该工艺下SiC材料的去除率为0.7μm/h,研磨后SiC衬底的表面粗糙度为24 nm。 展开更多
关键词 4H-SIC 研磨 聚氨酯垫 表面粗糙度 去除率 金刚石磨料
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利用自转角控制法进行钢球的多阶段研磨——泡沫聚氨酯垫研磨
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作者 黑部利次 蒋修治 陆恩常 《国外金属加工》 2004年第1期15-21,共7页
最近开发的钢球自转角控制多阶段研磨法具有良好的钢球研磨性能,其中V形研磨盘分成两部分,三个研磨盘均可独立运转。本文主要讨论使用聚氨酯垫时的钢球研磨特性。实验是用粒度从5.5μm到0.3μm不等的氧化铝磨粒进行的。发现使用聚氨... 最近开发的钢球自转角控制多阶段研磨法具有良好的钢球研磨性能,其中V形研磨盘分成两部分,三个研磨盘均可独立运转。本文主要讨论使用聚氨酯垫时的钢球研磨特性。实验是用粒度从5.5μm到0.3μm不等的氧化铝磨粒进行的。发现使用聚氨酯垫研磨的钢球表面粗糙度比铸铁研磨盘小。实验表明,粒度逐级减小有利于降低钢球的表面粗糙度,自旋角θ对钢球的表面粗糙度和加工量均有影响。 展开更多
关键词 钢球 研磨 泡沫聚氨酯垫 表面粗糙度 粒度 自转角控制
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超声振动辅助抛光BK7过程中聚氨酯抛光垫磨损行为 被引量:2
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作者 梁赢东 牛俊开 +1 位作者 张超 于天彪 《东北大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第1期82-88,共7页
抛光光学玻璃等硬脆材料时常选用聚氨酯抛光垫,其微观形貌和磨损直接影响抛光精度和效率.本文对不同抛光时长下聚氨酯抛光垫微观形貌和磨损行为及其对材料去除率和表面粗糙度的影响进行了实验研究.结果表明:当主轴转速为8000 r/min,进... 抛光光学玻璃等硬脆材料时常选用聚氨酯抛光垫,其微观形貌和磨损直接影响抛光精度和效率.本文对不同抛光时长下聚氨酯抛光垫微观形貌和磨损行为及其对材料去除率和表面粗糙度的影响进行了实验研究.结果表明:当主轴转速为8000 r/min,进给速度为0.0150 mm/s,轴向超声振幅为5μm时,材料去除率和表面粗糙度分别为0.977μm/min和153.67 nm.聚氨酯抛光垫在30 min内磨损量较小,随着抛光时长的增加,抛光垫表面孔隙逐渐被磨粒和玻璃碎屑填充,破坏抛光垫表面的疏松多孔结构,导致抛光垫表面硬化,失去弹性.同时,侵入抛光垫表面的磨粒会阻止抛光接触区域内的磨粒更新,导致抛光质量降低. 展开更多
关键词 超声振动辅助抛光 微观形貌:抛光磨损 光学玻璃(BK7) 聚氨酯抛光
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聚氨酯凝胶体位垫联合自制棉纱垫预防胸科手术致急性压疮的效果观察 被引量:24
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作者 唐雅 王银花 +1 位作者 刘燕虹 张艳 《护士进修杂志》 2015年第7期655-656,共2页
目的观察聚氨酯凝胶体位垫联合自制棉纱垫预防胸外科侧卧位手术致急性压疮的效果。方法选取2012年9月-2013年9月在我院施行胸科侧卧位手术的122例患者为实验组,采用聚氨酯胶体位垫联合自制棉纱垫预防压疮,2011年8月-2012年8月施行胸科... 目的观察聚氨酯凝胶体位垫联合自制棉纱垫预防胸外科侧卧位手术致急性压疮的效果。方法选取2012年9月-2013年9月在我院施行胸科侧卧位手术的122例患者为实验组,采用聚氨酯胶体位垫联合自制棉纱垫预防压疮,2011年8月-2012年8月施行胸科侧卧位手术的125例患者为对照组,常规采用聚氟酯凝胶体位垫预防压疮,比较两组对术中急性压疮的预防效果。结果实验组手术患者急性压疮的发生低于对照组,差异有统计学意义(P<0.05)。结论聚氨酯凝胶体位垫联合自制棉纱垫能有效预防胸科侧卧位手术中急性压疮的发生。 展开更多
关键词 急性压疮 自制棉纱 聚氨酯凝胶体位 胸科手术
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聚氨酯减振垫与橡胶减振垫浮置板轨道振动控制效果分析 被引量:17
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作者 何鉴辞 王平 +2 位作者 唐剑 赵才友 易强 《铁道标准设计》 北大核心 2018年第2期57-61,共5页
为了研究两种不同材料减振垫浮置板轨道的减振效果,以深圳某新建地铁线路隧道段为研究对象,测试了60 km/h的速度下聚氨酯减振垫轨道、橡胶减振垫轨道和普通道床轨道的振动响应,通过引入铅锤Z振级进行综合评价,分别在时域和频域内对两种... 为了研究两种不同材料减振垫浮置板轨道的减振效果,以深圳某新建地铁线路隧道段为研究对象,测试了60 km/h的速度下聚氨酯减振垫轨道、橡胶减振垫轨道和普通道床轨道的振动响应,通过引入铅锤Z振级进行综合评价,分别在时域和频域内对两种减振垫轨道、普通道床轨道的振动特性进行对比分析,结果表明:(1)两种减振垫浮置板轨道结构均在10 Hz左右发生共振;(2)两种材料减振垫轨道在40 Hz范围内都没有减振效果;(3)聚氨酯减振垫相比橡胶减振垫减振效果更好,且减振频域更宽。 展开更多
关键词 聚氨酯减振 橡胶减振 浮置板 Z振级 减振效果
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城市轨道聚氨酯高等减震垫道床施工技术
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作者 王培 《中国高新科技》 2021年第9期64-65,共2页
文章结合哈尔滨市轨道交通3号线二期工程,阐述了聚氨酯高等减震垫的道床结构及减振原理,详细介绍了在施工过程中用到的施工技术,为今后类似施工提供了参考。
关键词 城市轨道 聚氨酯高等减震 道床施工
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墙、柱式检查坑聚氨酯减振垫道床施工工艺分析
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作者 郭俊锋 张法明 +1 位作者 王红英 李晓云 《中文科技期刊数据库(全文版)工程技术》 2022年第2期127-131,共5页
城市轨道交通的快速发展降低了交通拥堵、解决了人民群众的出行问题、提高了人民生活品质、推动了城市快速发展,文章介绍了城市轨道交通地铁车辆段运用库墙、柱式检查坑聚氨酯减振道床在库内线(墙式、柱式检查坑的施工工艺、基本原理、... 城市轨道交通的快速发展降低了交通拥堵、解决了人民群众的出行问题、提高了人民生活品质、推动了城市快速发展,文章介绍了城市轨道交通地铁车辆段运用库墙、柱式检查坑聚氨酯减振道床在库内线(墙式、柱式检查坑的施工工艺、基本原理、施工特点。以石家庄地铁2号线某车辆段运用库墙、柱式检查坑聚氨酯减振道床为依托;着重介绍了库内线墙式、柱式检查坑聚氨酯减振垫道床的施工技术。 展开更多
关键词 地铁 库内检查坑 聚氨酯减振 施工技术
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边墙风机隔振设计探讨
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作者 熊志远 宋瑞祥 +1 位作者 赵娜 邬玉斌 《机械设计与制造》 北大核心 2024年第6期204-209,共6页
采用大块弹性垫对边墙风机进行隔振设计。基于单自由度系统有阻尼受迫振动的经典解,进一步导出隔振效率与垫板参数的变化关系。分析表明:对于面积为(480×350)mm的SR11垫板,当垫板厚度为48.3mm时,对应预期隔振效率80%。当垫板厚度大... 采用大块弹性垫对边墙风机进行隔振设计。基于单自由度系统有阻尼受迫振动的经典解,进一步导出隔振效率与垫板参数的变化关系。分析表明:对于面积为(480×350)mm的SR11垫板,当垫板厚度为48.3mm时,对应预期隔振效率80%。当垫板厚度大于14.05mm,小于48.3mm时,随着厚度的增加,隔振效率急剧上升;当垫板厚度大于48.3mm时,随着厚度的增加,隔振效率上升极平缓;当厚度在48.3mm及其附近取值时,既能取得良好隔振效果,又能降低边墙风机的重心以及产品成本。在各自一定的范围内,垫板面积、静弹性模量、阻尼比越小,隔振效率越大,隔振效果越好。此外,改进了边墙风机的安装设计。在风机底面与墙壁方形开口下表面之间铺设经设计的SR11垫板,允许风机竖向往复微运动,让垫板的隔振性能得以发挥。同时,阻止空气从风机周边缝隙通过。 展开更多
关键词 边墙风机 发泡聚氨酯弹性 隔振 安装改进
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聚氨酯减振浮置板轨道结构减振参数研究
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作者 王梦林 陈宪麦 《铁道建筑》 北大核心 2022年第10期51-54,共4页
为了更好地进行聚氨酯减振浮置板轨道结构的选型设计,建立车辆-轨道系统动力分析模型,研究轨道板厚度、扣件刚度、减振垫刚度对聚氨酯减振浮置板轨道结构动力响应的影响。结果表明:轨道板厚度增大会导致钢轨加速度相应增大,而钢轨位移... 为了更好地进行聚氨酯减振浮置板轨道结构的选型设计,建立车辆-轨道系统动力分析模型,研究轨道板厚度、扣件刚度、减振垫刚度对聚氨酯减振浮置板轨道结构动力响应的影响。结果表明:轨道板厚度增大会导致钢轨加速度相应增大,而钢轨位移、轨道板加速度、基底加速度显著减小;扣件刚度减小会导致钢轨垂向位移增大,而钢轨、轨道板、基底加速度不同程度减小;减振垫刚度增大会导致钢轨垂向位移、垂向加速度减小,而轨道板、基底垂向加速度平稳增大。结合工程实际,建议轨道板厚度取260~300 mm,扣件刚度取20~40 kN/mm,减振垫刚度取0.02~0.03 MPa/mm。 展开更多
关键词 城市轨道交通 聚氨酯减振 数值模拟 浮置板轨道 轨道板厚度 扣件刚度 减振刚度
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地铁周边地块住宅开发隔声减振设计 被引量:2
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作者 龚联 《建筑技术》 2023年第2期235-238,共4页
地铁在为城市人口出行通勤提供高效快捷选择的同时,也引起沿线的环境振动,进一步诱发建筑物的二次噪声将成为环境污染源,对地铁沿线居民的工作、生活都产生很大的影响。结合北京某项目实际情况和地铁隔声减振设计实践,分析实测数据,归... 地铁在为城市人口出行通勤提供高效快捷选择的同时,也引起沿线的环境振动,进一步诱发建筑物的二次噪声将成为环境污染源,对地铁沿线居民的工作、生活都产生很大的影响。结合北京某项目实际情况和地铁隔声减振设计实践,分析实测数据,归纳对比国家各类规范,梳理解决思路和设计要点,最终应用聚氨酯隔振垫的构造方案解决了既有地铁周边建筑减振和隔二次噪声的问题,为今后地铁周边类似项目的设计分享经验,形成案例,对将来后续项目的设计具有参考和借鉴意义。 展开更多
关键词 地铁周边 环境振动 二次噪声 隔声减振设计 聚氨酯隔振
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光学元件中高频PSD2误差的实验研究 被引量:1
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作者 廖德锋 陈贤华 +2 位作者 袁志刚 谢瑞清 钟波 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第12期3325-3328,共4页
光学元件的中高频误差一般采用功率谱密度(PSD)表示,其划分为PSD1和PSD2两个频段。针对目前国内外研究较少的PSD2频段误差,分析和实验研究了其潜在的影响因素。采用沥青和聚氨酯盘抛光熔石英元件的实验结果显示:小工具数控相比传统全口... 光学元件的中高频误差一般采用功率谱密度(PSD)表示,其划分为PSD1和PSD2两个频段。针对目前国内外研究较少的PSD2频段误差,分析和实验研究了其潜在的影响因素。采用沥青和聚氨酯盘抛光熔石英元件的实验结果显示:小工具数控相比传统全口径抛光并未增大PSD2误差,而抛光盘材质对PSD2误差具有决定性的影响。沥青盘在抑制PSD2误差方向具有较好的优越性,工件表面的PSD2指标能够满足要求,而聚氨酯抛光元件表面的PSD2误差则较高。针对这一问题,提出采用固结金刚石丸片修整聚氨酯垫,通过细化金刚石颗粒获得了合格的PSD2指标。 展开更多
关键词 PSD2误差 小工具数控抛光 全口径抛光 沥青盘 聚氨酯垫 金刚石修整
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锂离子电池硅基负极循环过程中的膨胀应力 被引量:4
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作者 牛少军 吴凯 +3 位作者 朱国斌 王艳 曲群婷 郑洪河 《储能科学与技术》 CAS CSCD 北大核心 2022年第9期2989-2994,共6页
研究硅基负极在充放电及循环过程中的膨胀对开发下一代高比能锂离子动力电池具有重要意义。本工作采用商业化的SiO_(x)/Graphite为负极匹配高比能镍钴锰酸锂[Li(Ni_(0.8)Mn_(0.1)Co_(0.1))O_(2),NCM811]正极,组装了60 Ah大软包电池,并... 研究硅基负极在充放电及循环过程中的膨胀对开发下一代高比能锂离子动力电池具有重要意义。本工作采用商业化的SiO_(x)/Graphite为负极匹配高比能镍钴锰酸锂[Li(Ni_(0.8)Mn_(0.1)Co_(0.1))O_(2),NCM811]正极,组装了60 Ah大软包电池,并对其进行循环膨胀应力、应力增长机理与膨胀应力的改善等方面的研究。结果表明SiO_(x)材料的构成为3~5 nm Si颗粒分散在无定形的SiO_(2)内部,首次充放电比容量为1840.9/1380 mAh/g,库仑效率为75%。大软包电池单次充放电膨胀应力的变化为7320 N,约为石墨负极的4倍。工作温度越高容量衰减越快,衰减到70%SOH时,25、45和60℃对应的循环次数分别为980、850和500次,对应的最大膨胀应力分别为25107、25490、23667 N。此外,机理分析发现电池循环膨胀应力的增长和容量衰减之间为线性相关,CP(cross section polisher)-SEM分析发现膨胀应力的增加主要来自于SiO_(x)颗粒表面的破裂及副反应导致的SEI(solid electrolyte interphase)增厚。通过测定缓冲垫压缩曲线的方法筛选了合适的聚氨酯类缓冲垫,验证对循环无影响,但可以显著改善膨胀应力的增加,膨胀应力降低50%,这些结果将为更好地应用高比容量的硅基负极材料奠定基础。 展开更多
关键词 锂离子电池 硅基负极 膨胀应力 聚氨酯缓冲
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装配式无砟轨道微弹性隔离层刚度取值研究
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作者 党红玲 张鲁顺 郭骁 《铁道勘察》 2022年第2期29-32,43,共5页
装配式无砟轨道中间层对无砟轨道结构受力及耐久性影响显著,无砟轨道各层结构刚度不匹配极易引起轨道结构病害产生和发展。针对轨道交通装配式轨道,提出一种微弹性隔离层,通过建立精细化有限元模型,分析微弹性隔离层刚度对轨道结构力学... 装配式无砟轨道中间层对无砟轨道结构受力及耐久性影响显著,无砟轨道各层结构刚度不匹配极易引起轨道结构病害产生和发展。针对轨道交通装配式轨道,提出一种微弹性隔离层,通过建立精细化有限元模型,分析微弹性隔离层刚度对轨道结构力学特性的影响,另外,进行隔离层材料试制及耐久性测试等方面工作。研究表明,综合考虑提高装配式轨道平顺性和降低自填充混凝土受力,建议微弹性隔离层面刚度范围为0.05~0.5 N/mm;通过隔离层试制和测试,聚氨酯隔离层刚度在荷载达到一定数值后保持稳定,微弹性隔离层推荐采用聚氨酯材料;依据对聚氨酯减振垫疲劳性能测试,聚氨酯弹性垫的寿命为61.8年,满足无砟轨道结构耐久性要求。 展开更多
关键词 装配式无砟轨道 微弹性隔离层 隔离层刚度 聚氨酯弹性
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