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方形自聚焦透镜的研制
被引量:
12
1
作者
韩艳玲
刘德森
+1 位作者
李景艳
蒋小平
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第9期1301-1304,共4页
经过方形玻璃丝的加工、离子交换及成品的精密加工等过程,成功制出了方形自聚焦透镜.并采用聚焦成像和雅明干涉等方法对其光学特性进行测试,得出了方形自聚焦透镜本身所具有的一些特性:中心部分畸变较小,成像性能好;四个棱角内的球差较...
经过方形玻璃丝的加工、离子交换及成品的精密加工等过程,成功制出了方形自聚焦透镜.并采用聚焦成像和雅明干涉等方法对其光学特性进行测试,得出了方形自聚焦透镜本身所具有的一些特性:中心部分畸变较小,成像性能好;四个棱角内的球差较大,像质较差;折射率分布不具有旋转对称性,而是与方向和半径有关.
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关键词
自
聚焦
透镜
方形自
聚焦
透镜
方形玻璃丝
聚焦
法
测试
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职称材料
主光轴平行于基底的微透镜阵列设计与制作
被引量:
5
2
作者
杨潞霞
毛静
+2 位作者
王春水
张斌珍
王万军
《光电子.激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第5期864-869,共6页
用聚二甲基硅氧烷(PDMS)软光刻工艺实现了一种主光轴平行于基底的微透镜阵列。首先对微透镜形成过程中的PDMS薄膜受力和变形情况进行了分析,并采用有限元分析方法对不同压力、不同厚度的薄膜变形情况进行了模拟,确定了合理的微透镜腔体...
用聚二甲基硅氧烷(PDMS)软光刻工艺实现了一种主光轴平行于基底的微透镜阵列。首先对微透镜形成过程中的PDMS薄膜受力和变形情况进行了分析,并采用有限元分析方法对不同压力、不同厚度的薄膜变形情况进行了模拟,确定了合理的微透镜腔体结构;然后利用SU-8负模制作了PDMS微透镜腔体,将腔体与盖片进行了密闭封装,通过一定的压力向其注入紫外固化光学胶成型了微透镜阵列;最后使用自制装置对微透镜阵列的聚焦效果进行了测试。结果表明,提出的制作方法简单易行、成本低廉和焦距可控,而且易与其它的微系统集成到同一芯片。
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关键词
微透镜阵列
薄膜形变
有限元分析
芯片键合
聚焦测试
原文传递
流式细胞仪系统中液体变焦透镜的设计与制作
3
作者
贾志浩
段俊萍
+3 位作者
王伟
毛静
王明焕
张斌珍
《光电子.激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第2期403-408,共6页
以聚二甲基硅烷(PDMS)为基础,设计制作了一种封闭式液体变焦透镜。通过对PDMS薄膜形变情况的仿真分析,利用Matlab数学建模与ANSYS结构仿真,得到薄膜形变结果,确定了合理的透镜腔体结构。在制备工艺上,首先利用SU-8模型制作了PDMS透镜腔...
以聚二甲基硅烷(PDMS)为基础,设计制作了一种封闭式液体变焦透镜。通过对PDMS薄膜形变情况的仿真分析,利用Matlab数学建模与ANSYS结构仿真,得到薄膜形变结果,确定了合理的透镜腔体结构。在制备工艺上,首先利用SU-8模型制作了PDMS透镜腔,再使用混合PDMS制作出腔体的盖片;然后将两部分进行表面处理后键合,注射填充液、完成二次封装;最后对透镜的表面形变和焦距变化进行了测试,根据测试结果绘制了焦距-磁通量曲线。测试中,在磁通量从200mT到600mT的过程中,焦距由22.0mm变为20.2mm。结果表明,以本文方法制作变焦透镜,可以简化工艺步骤,降低制造成本,减小整体体积,焦距可控,有着更好的密封性,受外界环境干扰小。
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关键词
变焦透镜
薄膜形变
聚焦测试
原文传递
题名
方形自聚焦透镜的研制
被引量:
12
1
作者
韩艳玲
刘德森
李景艳
蒋小平
机构
西南师范大学物理学院
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第9期1301-1304,共4页
文摘
经过方形玻璃丝的加工、离子交换及成品的精密加工等过程,成功制出了方形自聚焦透镜.并采用聚焦成像和雅明干涉等方法对其光学特性进行测试,得出了方形自聚焦透镜本身所具有的一些特性:中心部分畸变较小,成像性能好;四个棱角内的球差较大,像质较差;折射率分布不具有旋转对称性,而是与方向和半径有关.
关键词
自
聚焦
透镜
方形自
聚焦
透镜
方形玻璃丝
聚焦
法
测试
Keywords
GRIN lens
Square GRIN lens
Square glass stick
Focusing method to test
分类号
O435.1 [机械工程—光学工程]
下载PDF
职称材料
题名
主光轴平行于基底的微透镜阵列设计与制作
被引量:
5
2
作者
杨潞霞
毛静
王春水
张斌珍
王万军
机构
中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室、电子测试技术教育部重点实验室
山西大学商务学院信息学院
出处
《光电子.激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第5期864-869,共6页
基金
国家自然科学基金(61176115)
山西大学商务学院科研(2013006)资助项目
文摘
用聚二甲基硅氧烷(PDMS)软光刻工艺实现了一种主光轴平行于基底的微透镜阵列。首先对微透镜形成过程中的PDMS薄膜受力和变形情况进行了分析,并采用有限元分析方法对不同压力、不同厚度的薄膜变形情况进行了模拟,确定了合理的微透镜腔体结构;然后利用SU-8负模制作了PDMS微透镜腔体,将腔体与盖片进行了密闭封装,通过一定的压力向其注入紫外固化光学胶成型了微透镜阵列;最后使用自制装置对微透镜阵列的聚焦效果进行了测试。结果表明,提出的制作方法简单易行、成本低廉和焦距可控,而且易与其它的微系统集成到同一芯片。
关键词
微透镜阵列
薄膜形变
有限元分析
芯片键合
聚焦测试
Keywords
microlens array
deflection of the membrane
finite element analysis
chip bonding
focustesting
分类号
TH741 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
流式细胞仪系统中液体变焦透镜的设计与制作
3
作者
贾志浩
段俊萍
王伟
毛静
王明焕
张斌珍
机构
中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室
中北大学电子测试技术教育部重点实验室
出处
《光电子.激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第2期403-408,共6页
基金
国家自然基金(61401405,51475438)
山西省基础研究(2014011021-4)
新世纪优秀人才支持计划(130951862)资助项目
文摘
以聚二甲基硅烷(PDMS)为基础,设计制作了一种封闭式液体变焦透镜。通过对PDMS薄膜形变情况的仿真分析,利用Matlab数学建模与ANSYS结构仿真,得到薄膜形变结果,确定了合理的透镜腔体结构。在制备工艺上,首先利用SU-8模型制作了PDMS透镜腔,再使用混合PDMS制作出腔体的盖片;然后将两部分进行表面处理后键合,注射填充液、完成二次封装;最后对透镜的表面形变和焦距变化进行了测试,根据测试结果绘制了焦距-磁通量曲线。测试中,在磁通量从200mT到600mT的过程中,焦距由22.0mm变为20.2mm。结果表明,以本文方法制作变焦透镜,可以简化工艺步骤,降低制造成本,减小整体体积,焦距可控,有着更好的密封性,受外界环境干扰小。
关键词
变焦透镜
薄膜形变
聚焦测试
Keywords
tunable lens
film aberration
focusing test
分类号
TN256 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
方形自聚焦透镜的研制
韩艳玲
刘德森
李景艳
蒋小平
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
12
下载PDF
职称材料
2
主光轴平行于基底的微透镜阵列设计与制作
杨潞霞
毛静
王春水
张斌珍
王万军
《光电子.激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
5
原文传递
3
流式细胞仪系统中液体变焦透镜的设计与制作
贾志浩
段俊萍
王伟
毛静
王明焕
张斌珍
《光电子.激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
0
原文传递
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