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场发射阵列中聚焦电极制备的自对准技术
1
作者 屈晓声 李德杰 +1 位作者 田宏 姚保纶 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第12期29-30,共2页
本文讨论了制造Spindt型聚焦场发射阵列FFEA过程中需要的对准技术 ,提出了具有自对准能力的刻蚀方法 ,满足了聚焦型发射阵列的聚焦极与门极的精确对准 .比较了传统方法与新方法的不同 ,具体论述了整个工艺过程 ,并对制备出的器件进行了... 本文讨论了制造Spindt型聚焦场发射阵列FFEA过程中需要的对准技术 ,提出了具有自对准能力的刻蚀方法 ,满足了聚焦型发射阵列的聚焦极与门极的精确对准 .比较了传统方法与新方法的不同 ,具体论述了整个工艺过程 ,并对制备出的器件进行了SEM观测 ,结果达到了预想的目标 . 展开更多
关键词 自对准 聚焦电极 聚焦fea 场发射阵列 显示器
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