硅切割废砂浆沉积抑制方法的研究

硅片切割废砂浆很容易发生团聚,对在线回收砂浆质量以及硅片切割效果和硅片清洗均有不良的影响。通过探讨废砂浆中大颗粒的形成过程及条件,揭示砂浆团聚的主要原因;同时发现,调控废砂浆不同初始pH,其pH最终都会趋于一个定值,即为废砂浆pH平衡点。通过调节废砂浆pH使其小于平衡点,可以有效抑制砂浆聚集结块。