乳牙期牙弓两侧肌肉压力微机测量系统的研制及其应用

目的 研制肌肉压力微机实时测量系统 ,为测量乳牙牙弓两侧肌肉压力 ,探索肌肉压力与儿童牙颌形态的关系提供技术手段。方法 由电阻式传感器和PCLab生物信号采集处理系统组成本肌肉压力的微机测量系统 ,分别测试该系统的零位漂移大小、机械滞后、载荷 -应变状况及传感器的绝缘防水性能。并利用该测量系统对 30名正常乳牙牙合儿童进行了姿势位时上、下颌 5个牙位的肌肉压力的测定。结果 本肌肉压力微机测量系统具有零位漂移不明显 ,机械滞后小 ,传感器在空气及生理盐水中的绝缘电阻值均大于 2 0 0MΩ ,载荷 -应变曲线线性度好等特点。正常乳牙牙合儿童在姿势位时上、下颌 5个牙位的肌肉压力无显著性差异 ,唇、颊、舌侧肌肉压力基本均衡。结论 本微机测量系统结构小巧 ,灵敏度高 ,防水性能好 ,载荷-应变曲线线性度好 ,适合乳牙牙弓两侧肌肉的压力测量 ,可用来研究。

低温压力传感器及压力信号的微机动态测量系统

研制了一种适用于低温环境中的压力（差压）传感器。该传感器具有较高的精度、灵敏度、线性以及较快的响应速度。另以高性能、高速数据采集卡及Ｃｏｒｎ－ｐａｑ４８６微机为二次仪表，组成了一套实时自动数据测量系统。该系统的硬件可靠，软件虚拟了各类数字化仪表，具有较强的数据处理能力和较便捷的操作性。

基于硅MEMS技术的高灵敏度微型光纤法布里-珀罗压力传感器

基于微机电系统技术设计制备了一种微型化光纤法布里-珀罗传感器,具备高灵敏度和可批量制造的特点。传感器内部的法珀腔由刻蚀后的SOI晶圆与BF33玻璃阳极键合而成,传感器敏感膜片采用了绝缘衬底上的单晶硅材料。采用激光精细切割技术对传感器单元进行独立分离,使得单个传感器的整体外径仅为400μm,高度为220μm。在此基础上,搭建了信号解调实验平台,并对传感器的感压特性进行了详尽测试。测试结果显示,在0~50 kPa的压力范围内,传感器的压力灵敏度可达到18.5 nm/kPa,最大非线性度为0.47%,重复性为0.18%,迟滞为0.18%。此外,该传感器具有体积小、灵敏度高、电磁兼容、生物兼容以及稳定性强等优点,在生物医学和医疗领域具备巨大的商业转化价值。

“供暖网络微机监测系统”通过省级鉴定

大同矿务局行政处和计算中心共同研制的“供暖网络微机监测系统”,于1987年4月在山西省煤管局召开的鉴定会上通过鉴定。该系统由中央机房、中央值班室(其中安装IBM-PC/XT一套,中传86机一台,显示器一个)、被监测锅炉房(内有终端机一台和供汽管路始端压力传感器)

飞思卡尔推出用于测量海拔的高精度压力传感器

飞思卡尔半导体推出用于测量海拔的高精度压力传感器，旨在帮助用户进一步利用高级导航功能和新的基于位置的服务，如GPS辅助和e911。飞思卡尔Xtrinsic MPL3115A2压力传感器基于微机电系统（MEMS）技术，补充了Xtrinsic产品组合中的加速计和磁力计，可以满足智能移动设备中对这类组件的日益增长的需求。

用于测量海拔的高精度压力传感器

2011年6月22日，美国飞思卡尔半导体推出用于测量海拔的高精度压力传感器，旨在帮助用户进一步利用高级导航功能和新的基于位置的服务，如GPS辅助和e911。飞思卡尔Xtrinsic MPL3115A2压力传感器基于微机电系统（MEMS）技术，补充了Xtrinsic产品组合中的加速计和磁力计，可以满足智能移动设备中对这类组件的日益增长的需求。

用于测量海拔的高精度压力传感器

飞思卡尔半导体公司推出了用于测量海拔的高精度压力传感器Xtrinsic MPL3115A2。该压力传感器基于微机电系统（MEMS）技术，添加了Xtrinsic产品组合中的加速计和磁力计功能，可满足高级手机对移动位置服务日益增长的需求。

基于F-P干涉的强度型光纤压力传感器

研究基于强度解调技术的Fabry-Perot干涉型光纤微机电系统(micro-electro-mechanical systems,MEMS)压力传感器.该传感器采用MEMS各向异性腐蚀工艺加工的方形硅杯,其硅杯结构尺寸和表面光洁度比圆形压力敏感膜一致性好.传感器采用大面积比的方法,降低硅敏感膜片弯曲变形所引起的非线性测量误差,新增参考光路以补偿光源功率波动对测量的影响.在0～38kPa压力范围内实现了单值测量,相对灵敏度达到0.7%/kPa.实验与理论分析结果一致,具有很好的测量重复性.提出的多波长和多传感融合的测量方法,可用于扩大测量范围,提高灵敏度.

基于皮托管原理的弹丸速度及高度测量研究

为解决非旋弹、微旋弹配用引信所采用的机电安全系统通用性差、环境适应性不强等缺点,在分析美海军鱼雷引信中所采用的基于微机电压力流量传感器的解除保险方式的基础上,研究了陆军引信安全系统利用弹丸速度与高度信息解除保险方案。对与弹丸速度和高度有一定关系的弹丸外流场压力的测量进行了深入分析,并对弹丸速度测量、高度测量原理做了理论研究。最后设计了弹丸感压孔设置方案,说明了这种引信安全系统理论可行。

用于义齿压力分布式测量的光纤MEMS压力传感器

根据Fabry-Prot(F-P)腔的干涉原理,采用微机电系统(MEMS)工艺,研制出一种用于义齿压力检测的F-P腔光纤微型压力传感器。传感器膜片厚为6μm,膜片边长为100μm。在与义齿基托相同材料的树脂底基上,挖边长为1.2mm、深度为0.8mm平整的方形小坑,将传感器分布式埋植入底基,并用自制的施加压力的装置对传感器加压测试。用双波长方法解调干涉信号,用阵列波导光栅(AWG)复用传感器,从而实现对口腔义齿下方组织压力的分布式测量。测量结果表明,当义齿加载0～0.6MPa压力时,系统的相对反射率比值/压力可达0.020 1/MPa,测量结果具有良好的线性度,测量系统的复用能力强,且复用传感器之间没有串扰,适用于义齿对口腔下方组织压力的分布式测量。

增强汽车安全 博世推出传感器

从最初开始,博世就一直站在微机电系统(MEMS)技术前沿。自1995年开始生产以来,公司已生产出超过30亿颗微机电传感器,产量逐年创新高。2013年,博世在德国罗伊特林根的工厂生产了10多亿颗传感器。产品包括测量压力、加速度、湿度、温度、横摆角速度、惯量以及地磁场的各类传感器。此外,产品还包括M EMS麦克风(广泛用于消费类电子与汽车产业)。

运动五感:利用MEMS惯性感测技术实现应用变革

尽管MEMS（微机电系统）技术在气囊和汽车压力传感器中的应用已有大约20年,但促使大众认识到惯性传感器作用的是Nintendo誖WiiTM和Apple誖iP hone誖。然而,在一定程度上,流行的看法是惯性传感器的作用主要体现在最终产品有必要检测加速度和减速度的时候。诚然,从纯科学的角度来看,确实是这样。但是,这种看法忽视了MEMS加速度计和陀螺仪日益增加的诸多用途,比如,医疗设备、工业设备、消费类电子设备、汽车电子设备等领域。

MEMS三维静动态测试系统

采用集成频闪成像、计算机微视觉和显微干涉技术,研制了微机电系统(MEMS)三维静动态测试系统。系统可进行MEMS面内刚体运动、表面形貌、垂向变形和离面运动的测量。对于面内运动测量,提出了基于立方样条插值的亚像素步长相关模板匹配算法,从MEMS视觉图中提取面内位移,匹配精度为0.02 pixels。对于离面运动测量,采用Hariharan 5步相移干涉(PSI)算法和去包裹算法,离面运动测量分辨率可达1 nm。通过对Si微压力传感器膜和Si微陀螺仪的静动态测试,验证了系统的适用性和可靠性。

一种高精细度MEMS光纤F-P压力传感器

提出并通过实验研究了一种高精细度微机电系统(MEMS)光纤法布里-珀罗(F-P)压力传感器。该传感器基于MEMS技术,将硅片与Pyrex#7740玻璃片阳极键合并镀上高反介质膜构成一个高精细度的F-P腔。当外界压力发生变化时,F-P腔长会发生变化;采用高灵敏度光纤白光干涉测量技术,通过测量F-P腔长就可获得被测压力。实验结果表明,该传感器压力测量分辨率高,线性度高,并具有低温漂特性。

传感器

SPIE-Vol.4129 0301299SPIE 会议录,卷4129:亚表面传感技术与应用=Pro-ceedings of SPIE,Vol.4129:Subsurface sensing tech-nologies and applicationsⅡ[会,英]/SPIE-The Interna-tional Society for Optical Engineering.—668P.(E)本会议录收集了在美国 San Diego 召开的亚表面传感技术与应用会议上发表的71篇论文,内容涉及采用微波技术对材料非破坏性检验,测量材料特性的亚表面技术与系统,亚表面传感系统与技术及其在石油工业、医学与生物科学中的应用,用于表面传感的纤维光学和光谱技术,亚表面测量用传感器。