超高反差体系的显影动力学研究

本文通过研究肼感染显影动力学，对肼感染显影的显影速度及其活化能进行测试和计算，籍以讨论有关肼感染显影过程的机理。实验结果表明：肼感染显影的早期是直接显影，活化能低；后期是灰化成核显影，活化能高；而低曝光量潜影核无灰化成核显影，活化能较高。高反差、短趾部的形成原因是由于显影加速和显影抑制的竞争结果。