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题名基于有效信号提取的白光干涉信号快速处理方法
被引量:2
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作者
马龙
贾竣
裴昕
胡艳敏
周航
孙凤鸣
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机构
中国民航大学中欧航空工程师学院
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出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2019年第10期144-151,共8页
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基金
国家自然科学基金委员会与中国民用航空局联合资助(U1633101)
中央高校基本科研业务费中国民航大学专项(3122018Z002)
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文摘
针对白光扫描干涉术在垂直大范围扫描过程中的测量效率问题,提出了一种基于有效信号提取的白光信号快速处理方法。使用白光LED光源,建立了双峰频谱分布模型,并使用该模型进行了仿真实验,给出了不同算法在特定采样步长下所需的最小采样区间长度确定方法,在不改变测量精度的条件下减少了解算所需的数据量,并使得轮廓解算可以在采样结束前开始。针对垂直大范围扫描过程中的背景值波动问题,给出了一种基于背景集合的白光干涉信号背景分离方法,并通过与几种常见信号处理方法的比较,证明了背景值提取的完整性,有效消除了背景值波动现象对测量精度造成的影响。最后将上述方法应用于自主设计开发的白光轮廓仪,使用傅里叶变换法精确测量了U盘接口表面形貌特征。测量结果表明:从扫描开始到获得表面高度信息的总时间减少了49.02%。
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关键词
白光扫描干涉术
垂直大范围扫描
有效采样区间
背景值提取
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Keywords
white light interferometry
vertical large-scale scanning
effective sampling interval
background value extraction
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分类号
TH741.1
[机械工程—光学工程]
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