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总剂量辐照条件下部分耗尽半导体氧化物绝缘层N沟道金属氧化物半导体器件的三种kink效应
1
作者
卓青青
刘红侠
+2 位作者
彭里
杨兆年
蔡惠民
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第3期244-249,共6页
研究了0.8μm SOINMOS晶体管,经过剂量率为50rad(Si)/s的60Coγ射线辐照后的输出特性曲线的变化趋势.研究结果表明,经过制造工艺和版图的优化设计,在不同剂量条件下,该样品均不产生线性区kink效应.由碰撞电离引起的kink效应,出现显著变...
研究了0.8μm SOINMOS晶体管,经过剂量率为50rad(Si)/s的60Coγ射线辐照后的输出特性曲线的变化趋势.研究结果表明,经过制造工艺和版图的优化设计,在不同剂量条件下,该样品均不产生线性区kink效应.由碰撞电离引起的kink效应,出现显著变化的漏极电压随总剂量水平的提高不断增大.在高剂量辐照条件下,背栅ID-VSUB曲线中出现异常的"kink"现象,这是由辐照诱生的顶层硅膜/埋氧层之间的界面陷阱电荷导致的.
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关键词
总剂量效应
KINK效应
碰撞电离
背栅异常跨导
原文传递
题名
总剂量辐照条件下部分耗尽半导体氧化物绝缘层N沟道金属氧化物半导体器件的三种kink效应
1
作者
卓青青
刘红侠
彭里
杨兆年
蔡惠民
机构
西安电子科技大学微电子学院
出处
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第3期244-249,共6页
基金
国家自然科学基金(批准号:61076097
60936005)
+1 种基金
教育部科技创新工程重大项目培育资金(批准号:708083)
中央高校基本科研业务费专项资金(批准号:200110203110012)资助~~
文摘
研究了0.8μm SOINMOS晶体管,经过剂量率为50rad(Si)/s的60Coγ射线辐照后的输出特性曲线的变化趋势.研究结果表明,经过制造工艺和版图的优化设计,在不同剂量条件下,该样品均不产生线性区kink效应.由碰撞电离引起的kink效应,出现显著变化的漏极电压随总剂量水平的提高不断增大.在高剂量辐照条件下,背栅ID-VSUB曲线中出现异常的"kink"现象,这是由辐照诱生的顶层硅膜/埋氧层之间的界面陷阱电荷导致的.
关键词
总剂量效应
KINK效应
碰撞电离
背栅异常跨导
Keywords
total dose effect, kink, impact ionization, back-gate anomalous transconductance
分类号
TN386 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
总剂量辐照条件下部分耗尽半导体氧化物绝缘层N沟道金属氧化物半导体器件的三种kink效应
卓青青
刘红侠
彭里
杨兆年
蔡惠民
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
0
原文传递
已选择
0
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