内耦合型EBCCD的技术研究

电子轰击电荷耦合器件(EBCCD)是一种微弱光信号成像器件,由于采用了内耦合的背照电荷耦合器件(CCD)结构,大大提高了该器件的探测灵敏度以及信噪比,使其探测的弱光下限能更低。采用国产面照CCD,成功研制出了具有背照功能的CCD以及能耐电子轰击的EBCCD。简单介绍了这种器件的工作原理、结构特点以及关键研究内容,并列出了实验分析及结果。