单晶PERC电池片AL_2O_3钝化层划痕的解决方法

电池片背面钝化层沉积工序,面临着划痕对AL_2O_3钝化层损伤的困扰,对电池片转换效率的提高产生了不良影响。分析产生划痕的主要因素,通过试验加以工艺验证,最后提出解决划痕的有效办法。