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胶体刻蚀技术简介及其应用探索
1
作者
杨柏
池颖
李云峰
《中国基础科学》
2012年第3期3-13,F0003,共12页
近年来,具有特殊功能的微观图案化表面引起了人们浓厚的研究兴趣,并被广泛应用于微反应器、生物传感器、微电子器件、光学器件以及生物界面等领域。在众多微观图案化表面的构筑方法中,胶体刻蚀技术备受人们关注。本文对胶体刻蚀技术的...
近年来,具有特殊功能的微观图案化表面引起了人们浓厚的研究兴趣,并被广泛应用于微反应器、生物传感器、微电子器件、光学器件以及生物界面等领域。在众多微观图案化表面的构筑方法中,胶体刻蚀技术备受人们关注。本文对胶体刻蚀技术的进展及其应用进行了综述,并对其发展趋势进行了展望。
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关键词
图案化
胶体刻蚀技术
功能化界面
微纳米
原文传递
题名
胶体刻蚀技术简介及其应用探索
1
作者
杨柏
池颖
李云峰
机构
吉林大学超分子结构与材料国家重点实验室
吉林大学科学技术处
出处
《中国基础科学》
2012年第3期3-13,F0003,共12页
基金
国家自然科学基金(No.91123031
21074048
+1 种基金
20921003)
国家重大科学研究计划(No.2007CB936402)
文摘
近年来,具有特殊功能的微观图案化表面引起了人们浓厚的研究兴趣,并被广泛应用于微反应器、生物传感器、微电子器件、光学器件以及生物界面等领域。在众多微观图案化表面的构筑方法中,胶体刻蚀技术备受人们关注。本文对胶体刻蚀技术的进展及其应用进行了综述,并对其发展趋势进行了展望。
关键词
图案化
胶体刻蚀技术
功能化界面
微纳米
Keywords
patterning
colloidal lithography
functional interfaces
micro/nano meter
分类号
TB383 [一般工业技术—材料科学与工程]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
胶体刻蚀技术简介及其应用探索
杨柏
池颖
李云峰
《中国基础科学》
2012
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