电子材料分析中的能谱干扰峰

主要阐述了在电子元器件分析中用能谱仪作定性分析时常见的一些干扰峰和容易混淆及误判的一些谱峰。主要有和峰、逃逸峰以及一些在元器件材料分析中常遇到的元素特征峰之间的交错重叠的识别和判定方法,并把这些容易误判的谱线整理列成3种表格,以供参考,这些数据基本覆盖了在X射线能谱仪中可能出现的所有相关的谱峰。

电子材料分析中的能谱干扰峰

现在的电子元件中主要通过能谱仪进行定性分析一些常见的干扰峰以及一些容易出现混淆的谱峰,其中主要包含和峰、逃逸峰和在元件中经常遇见的元素特征峰之间的交互重叠识别峰,将容易产生错误判断的谱线进行整理,通过参考,因此能够覆盖在X射线能谱仪中出现的有关谱峰。本文主要探究电子材料中的能谱干扰峰。