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激光分子束外延工艺用ZnO陶瓷靶材的研究
被引量:
3
1
作者
贺永宁
朱长纯
+1 位作者
候洵
杨晓东
《硅酸盐学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第3期299-303,共5页
由改进的电子陶瓷工艺制备了ZnO(99.99%)高纯陶瓷靶材。用激光分子束外延(lasermolecularbeamepitaxy,L MBE))工艺,采用 这种靶材在蓝宝石基片上较低温度下生长了高结晶质量的ZnO半导体光电子薄膜。研究了ZnO高纯陶瓷靶材的烧结机理、...
由改进的电子陶瓷工艺制备了ZnO(99.99%)高纯陶瓷靶材。用激光分子束外延(lasermolecularbeamepitaxy,L MBE))工艺,采用 这种靶材在蓝宝石基片上较低温度下生长了高结晶质量的ZnO半导体光电子薄膜。研究了ZnO高纯陶瓷靶材的烧结机理、微观结构及形貌, 认为靶材的后期烧结速率主要决定于氧空位扩散机制。根据辐照后靶材的电镜分析结果,对L MBE工艺中靶材表面与脉冲激光相互作用过 程中等离子体羽辉的形成过程及其动力学特征进行了研究,认为该等离子体羽辉是激光支持的燃烧波,其波前传播速度为亚声速并且沿靶材 法线方向,粒子的动力学特征使得L MBE工艺适于ZnO薄膜的二维平面生长。
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关键词
氧化锌陶瓷
激光
分子束外延
脉冲激光辐照效应
外延薄膜制备
激光
脉冲
沉积技术
生长方法
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职称材料
题名
激光分子束外延工艺用ZnO陶瓷靶材的研究
被引量:
3
1
作者
贺永宁
朱长纯
候洵
杨晓东
机构
西安交通大学电信学院电子系
出处
《硅酸盐学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第3期299-303,共5页
基金
教育部"十五"211项目
现代信息光子学的基础理论
+1 种基金
关键技术和器件的研究项目
国家自然科学基金(60476037)资助项目
文摘
由改进的电子陶瓷工艺制备了ZnO(99.99%)高纯陶瓷靶材。用激光分子束外延(lasermolecularbeamepitaxy,L MBE))工艺,采用 这种靶材在蓝宝石基片上较低温度下生长了高结晶质量的ZnO半导体光电子薄膜。研究了ZnO高纯陶瓷靶材的烧结机理、微观结构及形貌, 认为靶材的后期烧结速率主要决定于氧空位扩散机制。根据辐照后靶材的电镜分析结果,对L MBE工艺中靶材表面与脉冲激光相互作用过 程中等离子体羽辉的形成过程及其动力学特征进行了研究,认为该等离子体羽辉是激光支持的燃烧波,其波前传播速度为亚声速并且沿靶材 法线方向,粒子的动力学特征使得L MBE工艺适于ZnO薄膜的二维平面生长。
关键词
氧化锌陶瓷
激光
分子束外延
脉冲激光辐照效应
外延薄膜制备
激光
脉冲
沉积技术
生长方法
Keywords
Ceramic materials
Film growth
Film preparation
Laser ablation
Pulsed laser applications
Scanning electron microscopy
Semiconductor materials
Sintering
Substrates
Thin films
X ray diffraction analysis
分类号
TB43 [一般工业技术]
TQ174.758 [化学工程—陶瓷工业]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
激光分子束外延工艺用ZnO陶瓷靶材的研究
贺永宁
朱长纯
候洵
杨晓东
《硅酸盐学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
3
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职称材料
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