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新型阴极弧电源研制及脉冲增强电子发射(P3e)效应研究 被引量:2
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作者 马英鹤 田修波 +4 位作者 蔡明哲 孙伟龙 孔营 寇睿 巩春志 《真空》 CAS 2014年第4期31-34,共4页
本文研制了新型脉冲阴极弧电源,并实现了脉冲增强电子发射(P3e)以提高真空室内等离子体密度。该电源核心由脉冲发射和维持电流系统构成,由单片机和触摸屏系统协同控制和管理。对P3e电源进行放电特性和脉冲增强电子发射效应进行了研究。... 本文研制了新型脉冲阴极弧电源,并实现了脉冲增强电子发射(P3e)以提高真空室内等离子体密度。该电源核心由脉冲发射和维持电流系统构成,由单片机和触摸屏系统协同控制和管理。对P3e电源进行放电特性和脉冲增强电子发射效应进行了研究。结果表明,在相同平均电弧电流条件下,与直流相比,P3e技术能够显著提高工件(基体)脉冲电流与平均电流。在电弧平均电流90 A时,基体脉冲电流由5 A提高到19.6 A,基体平均电流由2.2 A最大提高到4.6 A,表明脉冲增强了电子发射,进而获得高的等离子体密度,这将有助于增加膜层致密性、降低膜层应力。该新型电源对于阴极弧靶中毒抑制、膜层结构改善、膜层颗粒污染控制具有重要的意义。 展开更多
关键词 阴极弧 脉冲增强电子发射 脉冲电流 基体电流 等离子体密度
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铁电冷阴极材料电子发射实验研究 被引量:3
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作者 陈忠道 张树人 +1 位作者 蔡雪梅 郭曙光 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2003年第3期22-24,共3页
铁电冷阴极材料是一种在脉冲电压激励下从铁电表面获得很强的脉冲电子发射的新型功能材料。如何提高该材料的发射电流密度、束发射度和束亮度,是其研究的一个热点。本实验采用硅橡胶,清漆作为底电极表面及栅电极边缘的绝缘保护层,避免... 铁电冷阴极材料是一种在脉冲电压激励下从铁电表面获得很强的脉冲电子发射的新型功能材料。如何提高该材料的发射电流密度、束发射度和束亮度,是其研究的一个热点。本实验采用硅橡胶,清漆作为底电极表面及栅电极边缘的绝缘保护层,避免了表面放电现象,使得激励场强增大,从而极大地提高了铁电冷阴极材料的发射电流密度,最高达187 A/cm2,从归一化均方根发射度εn(m·rad)和归一化峰值亮度βn(A/m2·rad2)理论计算值来看,也大大改善了材料的束发射度和束亮度。 展开更多
关键词 铁电冷阻材料 发射电流密度 脉冲电子发射 发射 束亮度 功能材料
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Large field emission current and density from robust carbon nanotube cathodes for continuous and pulsed electron sources 被引量:1
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作者 Jiangtao Chen 《Science China Materials》 SCIE EI CSCD 2017年第4期335-342,共8页
Highly adhesive cold cathodes with high field emission performance are fabricated by using a screen-print- ing method. The emission density of carbon nanotube (CNT) cold cathode reaches 207.0 mA cm-2 at an electric ... Highly adhesive cold cathodes with high field emission performance are fabricated by using a screen-print- ing method. The emission density of carbon nanotube (CNT) cold cathode reaches 207.0 mA cm-2 at an electric field of 4.5 Vμm-1 under continuous driving mode, and high peak current emission of 315.8 mA corresponding to 4.5 A cm 2 at the electric field of 10.3 V μm-1 under pulsed driving mode. The emission patterns of the cold cathodes are of excellent uniformity that was revealed by vivid luminescent patterns of phosphor coated transparent indium tin oxide (ITO) an- ode. The cold cathodes also exhibit highly stable emission under continuous and pulsed driving modes. The high adhe- sion of CNTs to molybdenum substrates results in robust cold cathodes and is responsible for the high field emission performance. This robust CNT emitter could meet the operating requirements of continuous and pulsed electron sources, and it provides promising applications in various vacuum- micro/nanoelectronic devices. 展开更多
关键词 field emission carbon nanotube cold electronsource
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